論文

査読有り
2014年11月

Numerical Simulation for Coating Process of TiN Thin Film by a Thermal CVD Method

AIChE Annual Meeting 2014
  • Y.Hatori
    • ,
  • T.Omayu
    • ,
  • K.Tanoue
    • ,
  • T.Nishimura
記述言語
英語
掲載種別
研究論文（国際会議プロシーディングス）
エクスポート
BibTeX RIS
論文リストへ