論文

査読有り
2013年12月

Experimental study on reaction mechanism and growth rate of TiN film by thermal chemical vapor deposition

2nd Joint conference on Renewable Energy and Nanotechnology
  • H.Yamamoto
    • ,
  • Y.Hatori
    • ,
  • Y.Iwamoto
    • ,
  • T.Omayu
    • ,
  • K.Tanoue
    • ,
  • T.Nishimura
記述言語
英語
掲載種別
研究論文（国際会議プロシーディングス）
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