MISC

2017年8月25日

ミストCVD法によるサファイア基板上のα‐Ga2O3薄膜成長の条件検討

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)
  • 仲林裕司
  • ,
  • 山田悟
  • ,
  • 井藤聡
  • ,
  • 川江健

78th
開始ページ
ROMBUNNO.8a‐PA4‐26
終了ページ
記述言語
日本語
掲載種別

リンク情報
J-GLOBAL
https://jglobal.jst.go.jp/detail?JGLOBAL_ID=201702275369952589
ID情報
  • ISSN : 2436-7613
  • J-Global ID : 201702275369952589

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