2017年8月25日 ミストCVD法によるサファイア基板上のα‐Ga2O3薄膜成長の条件検討 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 仲林裕司, 山田悟, 井藤聡, 川江健 巻 78th 号 開始ページ ROMBUNNO.8a‐PA4‐26 終了ページ 記述言語 日本語 掲載種別 リンク情報 J-GLOBALhttps://jglobal.jst.go.jp/detail?JGLOBAL_ID=201702275369952589 ID情報 ISSN : 2436-7613J-Global ID : 201702275369952589 エクスポート BibTeX RIS