山内和人 (Kazuto Yamauchi) - マイポータル

基本情報

所属: 大阪大学大阪大学・理化学研究所科学技術融合研究センター特任教授 (栄誉教授)

researchmap会員ID: B000247431

研究キーワード

研究分野

経歴

2024年4月 - 現在

大阪大学, 大阪大学・理化学研究所科学技術融合研究センター, 特任教授
2020年4月 - 2023年3月

大阪大学大学院工学研究科, 物理学系専攻精密工学コース, 教授
2003年10月 - 2020年3月

大阪大学工学研究科精密科学・応用物理学専攻, 教授
1998年4月 - 2003年9月

大阪大学工学研究科精密科学・応用物理学専攻, 助教授
1992年4月 - 2003年9月

大阪大学助教授
1984年4月 - 1992年3月

大阪大学助手

受賞

2023年6月

全国発明表彰未来創造発明奨励賞, ナノ集光X線ミラー作製のための超精密測定法の発明, （公社）発明協会

山内和人, 石川哲也, 大橋治彦, 津村尚史
2023年4月

紫綬褒章, 放射光X線の微小ビーム形成技術の開発, 日本国

山内和人
2019年7月

泰山賞（レーザー進歩賞）, 超高性能X線集光ミラーの開発, （公財）レーザー技術総合研究所

山内和人
2016年4月

文部科学大臣表彰科学技術賞（研究部門）, 文部科学省

山内和人
2016年1月

安田賞, 応用物理学会第21回電子デバイス界面テクノロジー研究会

中出和希, 森大地, 川瀬達也, 川合健太郎, 佐野泰久, 山内和人, 森田瑞穂, 有馬健太
2013年11月

日本表面科学会会誌賞, 公益社団法人日本表面科学会

山内和人, 佐野泰久, 有馬健太
2009年11月

JSPE Prize Best Paper Award, 3rd International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology (Japan Society for Precision Engineering)

Shun Sadakuni, Junji Murata, Keita Yagi, Kenta Arima, Yasuhisa Sano, Takeshi Okamoto, Hidekazu Mimura, Kazuto Yamauchi
2009年1月

第22回日本放射光学会ポスター賞, 日本放射光学会

久保英人, 高橋幸生, 古川隼人, 山内和人, 西野吉則, 石川哲也, 松原英一郎
2006年2月

第19回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム学生会員発表賞, 日本放射光学会

松山智至, 三村秀和, 湯本博勝, 原英之, 山村和也, 佐野泰久, 遠藤勝義, 森勇藏, 西野吉則, 玉作賢治, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人
2005年11月

奨励研究賞, 応用物理学会、SiC及び関連ワイドギャップ半導体研究会

原英之, 佐野泰久, 三村秀和, 山内和人
2003年3月

精密工学会賞, 精密工学会

佐々木都至, 安弘, 森勇蔵, 片岡俊彦, 遠藤勝義, 山内和人, 井上晴行
2001年3月

精密工学会賞, 精密工学会

山内和人, 杉山和久, 稲垣耕司, 山村和也, 佐野泰久, 森勇藏
2000年6月

工作機械技術振興賞(論文賞), (財)工作機械技術振興財団

森勇蔵, 山内和人, 山村和也, 佐野泰久
1999年12月

社団法人日本機械学会生産加工・工作機械部門優秀講演論文表彰, 社団法人日本機械学会

安弘, 佐々木都至, 森勇蔵, 片岡俊彦, 遠藤勝義, 井上晴行, 山内和人
1992年3月

精密工学会賞, 精密工学会

森勇藏, 遠藤勝義, 山内和人, 王暉, 井出敞, 後藤英和
1986年3月

精密工学会賞, 精密工学会

森勇蔵, 井川直哉, 奥田徹, 山内和人

論文

758

Dicing Process for 4H-SiC Wafers by Plasma Etching Using High-Pressure SF<sub>6</sub> Plasma with Metal Masks

Yasuhisa Sano, Yuma Nakanishi, Masaaki Oshima, Shunto Iden, Jumpei Yamada, Daisetsu Toh, Kazuto Yamauchi

Materials Science Forum 1124 51-55 2024年8月21日
Ultra-precision smooth surface on polymer material prepared by catalyst-referred etching

D. Toh, K. Takeda, K. Kayao, Y. Ohkubo, K. Yamauchi, Y. Sano

International Journal of Automation Technology 18(2) 240-247 2024年3月5日査読有り招待有り
Extreme focusing of hard X-ray free-electron laser pulses enables 7 nm focus width and 10^22 W cm^−2 intensity

Jumpei Yamada, Satoshi Matsuyama, Ichiro Inoue, Taito Osaka, Takato Inoue, Nami Nakamura, Yuto Tanaka, Yuichi Inubushi, Toshinori Yabuuchi, Kensuke Tono …

Nature Photonics 2024年3月査読有り
High-precision finishing method for narrow-groove channel-cut crystal x-ray monochromator using plasma chemical vaporization machining with wire electrode

Shotaro Matsumura, Iori Ogasahara, Taito Osaka, Makina Yabashi, Kazuto Yamauchi, Yasuhisa Sano

Review of Scientific Instruments 95(1) 2024年1月1日査読有り
High-pressure plasma etching up to 9 atm toward uniform processing inside narrow grooves of high-precision X-ray crystal optics

Shotaro Matsumura, Iori Ogasahara, Masafumi Miyake, Taito Osaka, Daisetsu Toh, Jumpei Yamada, Makina YABASHI, Kazuto Yamauchi, Yasuhisa Sano

Applied Physics Express 2023年12月2日査読有り
Fabrication of YAG ceramics surface without damage and grain boundary steps using catalyzed chemical wet etching

Daisetsu Toh, Kiyoto Kayao, Kazuto Yamauchi, Yasuhisa Sano

CIRP Journal of Manufacturing Science and Technology 47 1-6 2023年12月査読有り
Catalyst enhancement approach for improving the removal rate and stability of silica glass polishing via catalyzed chemical etching in pure water

Daisetsu Toh, Kiyoto Kayao, Pho Van Bui, Kouji Inagaki, Yoshitada Morikawa, Kazuto Yamauchi, Yasuhisa Sano

Precision Engineering 84 21-27 2023年11月査読有り
Ultimate condensation of hard X-ray free-electron laser reaching single-nanometre focus size and 1022 W/cm2 intensity

Jumpei Yamada, Satoshi Matsuyama, Ichiro Inoue, Taito Osaka, Takato Inoue, Nami Nakamura, Yuto Tanaka, Yuichi Inubushi, Toshinori Yabuuchi, Kensuke Tono …

2023年10月26日
Femtosecond Reduction of Atomic Scattering Factors Triggered by Intense X-Ray Pulse

Ichiro Inoue, Jumpei Yamada, Konrad J. Kapcia, Michal Stransky, Victor Tkachenko, Zoltan Jurek, Takato Inoue, Taito Osaka, Yuichi Inubushi, Atsuki Ito …

Physical Review Letters 131(16) 2023年10月17日査読有り
Bias-assisted photoelectrochemical planarization of GaN (0001) with impurity concentration distribution

D. Toh, K. Kayao, R. Ohnishi, A. I. Osaka, K. Yamauchi, Y. Sano

AIP Advances 13(9) 2023年9月1日査読有り
Propagation-based phase-contrast imaging method for full-field X-ray microscopy using advanced Kirkpatrick–Baez mirrors

Yuto Tanaka, Jumpei Yamada, Takato Inoue, Takashi Kimura, Mari Shimura, Yoshiki Kohmura, Makina Yabashi, Tetsuya Ishikawa, Kazuto Yamauchi, Satoshi Matsuyama

Optics Express 31(16) 26135-26135 2023年7月21日査読有り
Role of Photoelectrochemical Oxidation in Enabling High-Efficiency Polishing of Gallium Nitride

Kiyoto Kayao, Daisetsu Toh, Kazuto Yamauchi, Yasuhisa Sano

ECS Journal of Solid State Science and Technology 12(6) 063005-063005 2023年6月1日査読有り
High-Speed Plasma Etching of Gallium Oxide Substrates Using Atmospheric-Pressure Plasma with Hydrogen-Helium Mixed Gas

Yasuhisa Sano, Taiki Sai, Genta Nakaue, Daisetsu Toh, Kazuto Yamauchi

Solid State Phenomena 342 69-72 2023年5月25日査読有り最終著者
High-speed etching of gallium nitride substrate using hydrogen-contained atmospheric-pressure plasma

Yasuhisa Sano, Genta Nakaue, Daisetsu Toh, Jumpei Yamada, Kazuto Yamauchi

Applied Physics Express 16(4) 045504-045504 2023年4月1日査読有り最終著者
Wide field-of-view x-ray imaging optical system using grazing-incidence mirrors

Satoshi Matsuyama, Takato Inoue, Kentaro Hata, Haruhito Iriyama, Kazuto Yamauchi

Applied Optics 61(35) 10465-10465 2022年12月6日査読有り最終著者
Hard x-ray intensity autocorrelation using direct two-photon absorption

Taito Osaka, Ichiro Inoue, Jumpei Yamada, Yuichi Inubushi, Shotaro Matsumura, Yasuhisa Sano, Kensuke Tono, Kazuto Yamauchi, Kenji Tamasaku, Makina Yabashi

Physical Review Research 4(1) L012035-L012035 2022年3月18日査読有り
High-throughput deterministic plasma etching using array-type plasma generator system

Yasuhisa Sano, Ken Nishida, Ryohei Asada, Shinya Okayama, Daisetsu Toh, Satoshi Matsuyama, Kazuto Yamauchi

Review of Scientific Instruments 92(12) 125107-125107 2021年12月1日査読有り最終著者
Optimal deformation procedure for hybrid adaptive x-ray mirror based on mechanical and piezo-driven bending system

Takato Inoue, Yuka Nishioka, Satoshi Matsuyama, Junki Sonoyama, Kazuteru Akiyama, Hiroki Nakamori, Yoshio Ichii, Yasuhisa Sano, Xianbo Shi, Deming Shu …

Review of Scientific Instruments 92(12) 123706-123706 2021年12月1日査読有り最終著者
Nondeteriorating Verwey Transition in 50 nm Thick Fe<inf>3</inf>O<inf>4</inf>Films by Virtue of Atomically Flattened MgO Substrates: Implications for Magnetoresistive Devices

Ai I. Osaka, Daisetsu Toh, Kazuto Yamauchi, Ken Hattori, Xiaoqian Shi, Fangzhun Guo, Hidekazu Tanaka, Azusa N. Hattori

ACS Applied Nano Materials 4(11) 12091-12097 2021年11月26日査読有り
触媒表面基準エッチング法を用いた粒界段差フリーな超平滑多結晶材料表面の作製

藤大雪, Bui Van Pho, 松山智至, 佐野泰久, 山内和人

精密工学会学術講演会講演論文集 2021A 115-116 2021年9月8日査読有り最終著者

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MISC

354

Advanced KBミラーに基づく硬X線自由電子レーザーsub-10nm集光システム

山田純平, 松山智至, 井上陽登, 伊藤篤輝, 田中優人, 大坂泰斗, 井上伊知郎, 犬伏雄一, 湯本博勝, 湯本博勝 …

日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム(Web) 35th 2022年
大気圧プラズマによる表面処理を利用した常温接合技術の開発

櫛川新太, 西岡柚香, 藤大雪, 山内和人, 佐野泰久

精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集 2022 2022年
水素ガスを用いた大気圧プラズマによる窒化ガリウム基板の高能率エッチング

中上元太, 崔泰樹, 藤大雪, 山内和人, 佐野泰久

精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集 2022 2022年
紫外光照射を援用した触媒表面基準エッチング法を用いた窒化ガリウム基板の高能率平滑化

萱尾澄人, 藤大雪, 山田純平, 山内和人, 佐野泰久

精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集 2022 2022年
完全結晶表面を作製した成長用単結晶基板上での50nmVO₂極薄の相転移特性の評価

大坂藍, BUI Van Pho, 山内和人, 田中秀和, 服部梓

精密工学会大会学術講演会講演論文集 2021 2021年
MgO(001)完全表面基板上でのFe₃O₄極薄膜の金属絶縁体相転移特性向上

大坂藍, 山内和人, 服部賢, 田中秀和, 服部梓

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 68th 2021年
Wolter III型advanced KBミラーによるXFEL sub-10nm集光光学系の開発

山田純平, 松山智至, 松山智至, 井上陽登, 中村南美, 田中優人, 大坂泰斗, 井上伊知郎, 犬伏雄一, 犬伏雄一 …

日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム(Web) 34th 2021年
触媒表面基準エッチング法を用いた高分子材料表面の高精度平坦化手法-ポリカーボネートの加工特性評価-

竹田広大, 藤大雪, 佐野泰久, 山内和人

精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集 2021 2021年
SF₆ガスを用いたサブ大気圧プラズマによるSiC-MOSFETの裏面薄化におけるデバイス性能への影響の調査

大島政明, 中西悠真, 藤大雪, 松山智至, 山内和人, 佐野泰久

精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集 2021 2021年
触媒表面基準エッチング法におけるシリコンの除去機構の解明

板垣果歩, 萩原拓, 萱尾清人, VAN PHO Bui, 藤大雪, 佐野泰久, 山内和人

精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集 2021 2021年
X線自由電子レーザー用sub10nm集光システムの開発-高反射率多層膜ミラーの作製-

井上陽登, 松山智至, 山田純平, 中村南美, 大坂泰斗, 湯本博勝, 小山貴久, 大橋治彦, 矢橋牧名, 矢橋牧名 …

日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム(Web) 33rd 2020年
X線自由電子レーザーナノ集光システムの開発格子干渉計を用いたX線波面計測法の検証

中村南美, 松山智至, 山田純平, 井上陽登, 大坂泰斗, 湯本博勝, 小山貴久, 大橋治彦, 矢橋牧名, 矢橋牧名 …

精密工学会大会学術講演会講演論文集 2020 2020年
WolterIII型Advanced KBミラーを用いたX線自由電子レーザーsub-10nm集光システムの開発(第2報)-高反射率多層膜の作製と差分成膜による形状修正-

井上陽登, 松山智至, 山田純平, 中村南美, 大坂泰斗, 湯本博勝, 小山貴久, 大橋治彦, 矢橋牧名, 矢橋牧名 …

精密工学会大会学術講演会講演論文集 2020 2020年
WolterIII型Advanced KBミラーを用いたX線自由電子レーザーsub-10nm集光システムの開発(第3報)-差分成膜によるX線ミラーの高精度形状修正およびSPring-8における性能評価-

井上陽登, 松山智至, 山田純平, 中村南美, 田中優人, 大坂泰斗, 湯本博勝, 小山貴久, 大橋治彦, 矢橋牧名 …

精密工学会大会学術講演会講演論文集 2020 2020年
完全結晶基板上に成長したFe₃O₄極薄膜金属-絶縁体相転移特性

大坂藍, 服部梓, 田中秀和, 藤大雪, 山内和人, 佐野泰久

日本表面真空学会学術講演会要旨集(Web) 2020 2020年
X線自由電子レーザーナノ集光システムの開発(第2報)蛍光X線の強度干渉現象を利用したビーム径決定手法の実証

中村南美, 松山智至, 井上陽登, 井上伊知郎, 大坂泰斗, 山田純平, 湯本博勝, 小山貴久, 大橋治彦, 矢橋牧名 …

精密工学会大会学術講演会講演論文集 2019 2019年
Wolter III型Advanced KBミラーを用いたX線自由電子レーザーsub-10nm集光システムの開発

井上陽登, 松山智至, 山田純平, 中村南美, 大坂泰斗, 湯本博勝, 小山貴久, 大橋治彦, 矢橋牧名, 矢橋牧名 …

精密工学会大会学術講演会講演論文集 2019 2019年
X線自由電子レーザーナノ集光システムの開発-蛍光X線の強度干渉現象を利用したビーム径決定手法の検討-

中村南美, 松山智至, 井上陽登, 井上伊知郎, 大坂泰斗, 山田純平, 湯本博勝, 小山貴久, 大橋治彦, 矢橋牧名 …

精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集 2019 2019年
X線自由電子レーザー用sub10nm集光システムの開発-新しいビーム径診断法を用いた精密ミラーアライメント-

井上陽登, 松山智至, 中村南美, 湯本博勝, 犬伏雄一, 犬伏雄一, 小山貴久, 大坂泰斗, 井上伊知郎, 登野健介 …

日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム(Web) 32nd 2019年
X線自由電子レーザーナノ集光システムの開発

中村南美, 松山智至, 井上陽登, 湯本博勝, 犬伏雄一, 犬伏雄一, 小山貴久, 大坂泰斗, 井上伊知郎, 登野健介 …

精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集 2018 2018年

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書籍等出版物

Ultimate condensation of synchrotron radiation X-rays and its application to exploring cutting-edge X-ray science

山内和人

SACLA/SPring-8 Research Frontiers 2023, pp.8-11, JASRI 2024年8月
放射光ビームラインにおけるX線ナノ集光ミラー光学系の高度化とズーム機能の実現

山内和人

光学，51(8) (2022) pp. 344-350. 2022年8月
平成のX線光学・超精密加工を振り返る～高精度X線ナノ集光ミラーの開発と超精密加工～

山内和人

2020 年 86 巻 1 号 p. 32-38 2020年1月
差分成膜法による高精度X線ミラー作製

松山智至, 山内和人

精密工学会誌, Vol.84，No. 6，pp．511-514 2018年
NEW GLASS Vol.32 No.3 触媒表面基準エッチング法による機能材料表面の原子スケール平坦化

山内和人

ニューガラスフォーラム 2017年11月
応用物理 vol.86 no.10 放射光科学のための高精度X線ミラーの開発

山内和人

応用物理学会 2017年10月
學士會会報 No.923 放射光科学に貢献するX線のナノ集光技術

山内和人

學士會 2017年3月
蛍光X線分析の実際第2版 13.4章高空間分解能化のための光学技術

山内和人, 松山智至 (担当:分担執筆)

朝倉書店 2016年7月 (ISBN: 9784254141030)
蛍光X線分析の実際第2版 13.4章高空間分解能化のための光学技術

山内和人, 松山智至 (担当:共著)

朝倉書店 2016年7月 (ISBN: 9784254141030)
病理と臨床各種顕微鏡の進歩[8] X線顕微鏡

山内和人, 松山智至 (担当:共著)

文光堂 2015年10月
病理と臨床 vol.33 no.11 各種顕微鏡の進歩[8] X線顕微鏡

山内和人, 松山智至 (担当:分担執筆)

文光堂 2015年10月
SiCパワーデバイスの開発と最新動向、第7章第5節SiC 基板表面の原子レベル平坦化技術

佐野泰久, 有馬健太, 山内和人

S&T出版 2012年10月 (ISBN: 9784907002060)
Crystal Growth Technology (Chapter 18; Crystal Machining Using Atmospheric Pressure Plasma)

Yasuhisa Sano, Kazuya Yamamura, Kazuto Yamauchi (担当:共著)

WILEY-VCH 2010年9月 (ISBN: 9783527325931)
次世代パワー半導体－省エネルギー社会に向けたデバイス開発の最前線－第1章第1節2 PCVMを用いたSiC基板の薄化

佐野泰久, 山村和也, 山内和人 (担当:共著)

(株)エヌ・ティー・エス 2009年10月
大気圧プラズマ基礎と応用 6.7.5 マイクロ／ナノ加工日本学術振興会プラズマ材料科学第153委員会

佐野泰久, 山村和也, 山内和人 (担当:共著)

オーム社 2009年10月 (ISBN: 9784274207600)
Crystal Growth Technology (Chapter 19; Plasma Chemical Vaporization Machining and Elastic Emission Machining)

Yasuhisa Sano, Kazuya Yamamura, Hidekazu Mimura, Kazuto Yamauchi, Yuzo Mori (担当:共著)

Wiley-VCH 2008年3月 (ISBN: 9783527317622)
Elastic Emission Machining図解「砥粒加工技術のすべて」（砥粒加工学会偏）

三村秀和, 山内和人, 森勇藏

工業調査会 2006年9月
Crystal Growth Technology edited by H. J. Scheel and T. Fukuda Numerically Controlled EEM (Elastic Emission Machining) System for Ultraprecision Figuring and Smoothing of Aspherical Surfaces (Chapter 27)

YUZO MORI, KAZUTO YAMAUCHI, KIKUJI HIROSE, KAZUHISA SUGIYAMA, KOUJI INAGAKI, HIDEKAZU MIMURA (担当:分担執筆)

John Wiley & Sons, Ltd. 2003年10月
原子レベルの平滑面の創成（第Ⅰ編，第4章，第7節）ナノテクノロジーハンドブック, 難波進他12名編

森勇藏, 山内和人 (担当:分担執筆)

オーム社 2003年5月
究極の物づくり－原子を操る－

森勇藏, 広瀬喜久治, 芳井熊安, 森田瑞穂, 片岡俊彦, 青野正和, 山内和人, 遠藤勝義, 安武潔, 桑原裕司, 後藤英和 (担当:分担執筆)

大阪大学出版会 2002年4月

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講演・口頭発表等

触媒表面基準エッチング法の高度化と先端光学表面・半導体表面への適用

山内和人

プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会30周年記念研究会 2024年12月12日招待有り
X線光学素子や先端半導体基板の超精密表面創製法の開発ー私のライフワークの現状ー

山内和人

2024年度精密工学会九州支部・中国四国支部「鹿児島地方講演会」・「第25回学生研究発表会」」 2024年12月7日招待有り
High-pressure Plasma Etching Technique Up to 900 kPa for Damage-free Ultra-precision Machining

Shotaro Matsumura, Masafumi Miyake, Yasuhisa Sano, Osaka University, Kenichi Morita, S-Surface Technologies, Kazuto Yamauchi, Osaka University-RIKEN Center for Science, Technology

39th ASPE Annual Meeting 2024年11月7日
Development of scanning-imaging X-ray microscope using advanced Kirkpatrick-Baez mirror

A. Nagamatsu, J. Yamada, A. Yakushigawa, A. Takeuchi, K. Uesugi, D. Toh, Y. Sano, M. Yabashi, K Yamauchi

15th International Conference on Synchrotron Radiation Instrumentation (SRI2024)
Development of EUV-FEL nanofocusing optics using OSAKA Mirror technology

K. Hanada, S. Matsuzaka, J. Yamada, H. Nakamori, D. Toh, Y. Sano, K. Yamauchi, M. Kanaoka

15th International Conference on Synchrotron Radiation Instrumentation (SRI2024)
XAFS imaging & phase-contrast imaging using full-field X-ray microscope based on advanced KB mirror

A. Yakushigawa, J. Yamada, A. Nagamatsu, T. Uruga, H. Takano, H. Matsui, D. Toh, Y. Sano, M. Yabashi, K. Yamauchi

16th International Conference on X-Ray Microscopy (XRM2024)
Ultimate condensation of X-ray free electron laser down to single nanometer size by precision mirror devices

山内和人

The 10th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology (ASPEN) 2023 招待有り
Catalyst Referred Etching Method for High Precision Optical Elements

山内和人

International Conference on Precision Engineering and Sustainable Manufacturing (PRESM2023) 招待有り
Generation of extremely intense photon field by condensation of X-ray free electron laser SACLA less than 10 nm

山内和人

International Conference on X-ray Optics and Applications (XOPT2023) 招待有り
Recent Developments in Reflective X-ray Focusing Devices for Synchrotron Radiation Science

山内和人

14th International Conference on Synchrotron Radiation Instrumentation (SRI2021), ONLINE 招待有り
Atomically controlled polishing for precision optics

山内和人

The 7th International Conference on Nanomanufacturing (nanoMan2021), ONLINE 招待有り
Atomically Controlled Surfacing of Single crystalline SiC and GaN by Catalyst-Referred Etching (CARE)

山内和人

The 6th Quantum Science (QS) symposium -The Main Symposium of ICCMSE 2020 -Computational Chemistry and Computational Physics, ONLINE 招待有り
Development of Catalyst Referred Etching to Produce Atomically Smooth and Crystallographically Ordered Surfaces

山内和人

The 22nd International Symposium on Advances in Abrasive Technology (ISAAT 2019) 招待有り
Recent Progress in Hard X-ray Reflective Optics for Synchrotron Radiation Sources

山内和人

X RIAO-XIII OPTILAS-MOPM 2019 招待有り
Fabrication and metrology of precision X-ray optics for new generation synchrotron radiation sources

山内和人

International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII 2019) 招待有り
Mirror based X-ray optical system for the next generation beamline

山内和人

International Baltic School 2019 "4-th Generation X-ray Sources: coherent optics and techniques" 招待有り
Precision Measurement, Fabrication and Related Technologies for X-ray Mirror Optics

山内和人

招待有り
Abrasive-free planarization method of functional materials by Catalyst-Referred Etching (CARE)

山内和人

2018 KSPE Autumn Conference 招待有り
Advances in X-ray mirror optics for 3rd and 4th generation synchrotron radiation sources

山内和人

The International School on XFEL: Science and Instrumentation 招待有り
Precision Measurement, Fabrication and Related Technologies for Grazing-incidence X-ray Mirror Optics

山内和人

Ultra Precision Manufacturing of Aspheres & Freeforms, Fraunhofer IOF 招待有り

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担当経験のある科目(授業)

166

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所属学協会

共同研究・競争的資金等の研究課題

伝播波面の精密制御によるコヒーレントX線のナノビーム形成

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(S) 2021年7月 - 2025年3月

山内和人, 松山智至, 山田純平, 佐野泰久, 藤大雪
第一原理分子動力学法による触媒援用表面加工法におけるエッチング過程の解明

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(C) 2015年4月 - 2018年3月

稲垣耕司, 森川良忠, 山内和人
補償光学系を駆使した多段光学系によるＸ線自由電子レーザーのナノメートル集光

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(S) 2011年4月 - 2016年3月

山内和人, 松山智至, 佐野泰久, 玉作賢治, 三村秀和, 大橋治彦, 湯本博勝, 小山貴久
太陽観測に向けた超高精度Ｘ線ミラーの開発

日本学術振興会科学研究費助成事業挑戦的萌芽研究 2012年4月 - 2014年3月

坂尾太郎, 末松芳法, 山内和人, 松山智至, 成影典之
第一原理計算によるCARE加工プロセスの解明

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(C) 2010年 - 2012年

稲垣耕司, 森川良忠, 山内和人
硬Ｘ線Ｓｕｂ―１０ｎｍビーム形成と顕微鏡システムの構築

日本学術振興会科学研究費助成事業特別推進研究 2006年 - 2010年

山内和人, 三村秀和, 山村和也, 佐野泰久, 高橋幸生, 稲垣耕司, 松山智至, 山村和也, 佐野泰久, 稲垣耕司
プラズマCVMを用いた超精密非球面光学素子加工装置の開発

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(A) 1998年 - 1999年

森勇藏, 佐野泰久, 山村和也, 山内和人
表面光起電力を利用したSiウエハの加工変質層の高感度計測

日本学術振興会科学研究費助成事業萌芽的研究 1997年 - 1998年

山内和人, 佐野泰久, 山村和也, 森勇蔵
回転電極を用いた大気圧汎用プラズマCVD装置の開発

日本学術振興会科学研究費助成事業萌芽的研究 1996年 - 1997年

森勇蔵, 佐野泰久, 山村和也, 山内和人
イオン照射による薄膜用基板の表面制御-結晶性薄膜作製の低温プロセス化-

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 1995年 - 1996年

山内和人, 佐野泰久, 山村和也, 森勇藏
大気圧プラズマを利用したラジカル加工におけるラジカル生成機構の解明

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 1995年 - 1996年

森勇藏, 佐野泰久, 山村和也, 山内和人
表面光起電力効果を利用したSi表面加工変質層の高感度計測

日本学術振興会科学研究費助成事業一般研究(C) 1994年 - 1995年

山内和人, 佐野泰久, 山村和也, 森勇藏
大気圧プラズマを利用したEEM用粉末粒子作製装置の開発

日本学術振興会科学研究費助成事業試験研究(B) 1994年 - 1995年

森勇蔵, 佐野泰久, 山村和也, 山内和人
光の近接場を利用した微細加工

日本学術振興会科学研究費助成事業試験研究(B) 1993年 - 1995年

片岡俊彦, 山内和人, 遠藤勝義, 森勇藏
イオン照射による薄膜用基板の表面制御に関する研究

日本学術振興会科学研究費助成事業一般研究(B) 1993年 - 1994年

森勇蔵, 山村和也, 遠藤勝義, 山内和人, 片岡俊彦, 佐野泰久
EEM(Elastic Emission Machining)用粉末粒子の表面コーティングに関する研究

日本学術振興会科学研究費助成事業試験研究(B) 1992年 - 1993年

森勇藏, 山村和也, 遠藤勝義, 山内和人, 片岡俊彦
走査型近接場光学顕微鏡による超精密加工表面の評価

日本学術振興会科学研究費助成事業一般研究(B) 1992年 - 1993年

片岡俊彦, 山内和人, 遠藤勝義, 森勇藏
EEM(Elastic Emission Machining)用用微細粉末粒子の表面処理装置の開発

日本学術振興会科学研究費助成事業試験研究(B) 1989年 - 1990年

森勇蔵, 杉山和久, 山内和人, 遠藤勝義
薄膜作製における基板表面制御に関する研究

日本学術振興会科学研究費助成事業一般研究(B) 1989年 - 1990年

森勇藏, 杉山和久, 山内和人, 遠藤勝義
超精密切削における加工面の表面物性的コントロールに関する研究

日本学術振興会科学研究費助成事業一般研究(B) 1986年 - 1987年

森勇蔵, 山内和人, 杉山和久

学術貢献活動

アメリカ光学会（OSA)（フェロー）

企画立案・運営等

2017年9月 - 現在
アメリカ光学会（OSA)（シニアメンバー）

企画立案・運営等

2017年6月 - 現在
国際光工学会（SPIE）（フェロー）

企画立案・運営等

2017年1月 - 現在
国際光工学会（SPIE）（シニアメンバー）

企画立案・運営等

2015年9月 - 現在
精密工学会超精密加工専門委員会（委員長）

企画立案・運営等

2008年7月 - 現在
International Conference on X-ray Optics and Applications 2019 (XOPT2019)

企画立案・運営等

理化学研究所放射光科学総合研究センター，大阪大学大学院工学研究科附属超精密科学研究センター 2020年4月
International Conference on X-ray Optics and Applications 2019 (XOPT2019)

企画立案・運営等

理化学研究所放射光科学総合研究センター，大阪大学大学院工学研究科附属超精密科学研究センター 2019年4月
International Conference on X-ray Optics and Applications 2018 (XOPT2018)

企画立案・運営等

理化学研究所放射光科学総合研究センター，大阪大学大学院工学研究科附属超精密科学研究センター 2018年4月
International Conference on X-ray Optics and Applications 2017 (XOPT’17)

企画立案・運営等

理化学研究所放射光科学総合研究センター，大阪大学大学院工学研究科附属超精密科学研究センター 2017年4月
International Conference on X-ray Optics, Detectors, Sources, and their Applications 2016 (XOPT'16)

企画立案・運営等

理化学研究所放射光科学総合研究センター，大阪大学大学院工学研究科附属超精密科学研究センター 2016年5月
日本物理学会大阪支部公開シンポジウム「サイエンスからテクノロジーへ−役に立つ物理への出帆−」

その他

日本物理学会大阪支部 2014年12月
Workshop on Atomically Controlled Fabrication Technology

企画立案・運営等

卓越した大学院形成支援補助金（高機能化原子制御製造プロセス教育研究拠点） 2014年2月
The 12th Symposium on X-ray Imaging Optics

企画立案・運営等

X線結像光学研究会 2013年11月
グローバルCOEプログラム国際シンポジウム

企画立案・運営等

大阪大学グローバルCOEプログラム「高機能化原子制御製造プロセス教育研究拠点」 2012年10月
グローバルCOEプログラム国際シンポジウム

企画立案・運営等

大阪大学グローバルCOEプログラム「高機能化原子制御製造プロセス教育研究拠点」 2011年10月
精密工学会関西支部（幹事）

企画立案・運営等

2007年4月 - 2011年3月
グローバルCOEプログラム国際シンポジウム

企画立案・運営等

大阪大学グローバルCOEプログラム「高機能化原子制御製造プロセス教育研究拠点」 2010年11月
グローバルCOEプログラム国際シンポジウム

企画立案・運営等

大阪大学グローバルCOEプログラム「高機能化原子制御製造プロセス教育研究拠点」 2009年11月
International Workshop on X-ray Mirror Design, Fabridation, and Metrology

企画立案・運営等

大阪大学グローバルCOEプログラム「高機能化原子制御製造プロセス教育研究拠点」 2009年9月
精密工学会関西支部（幹事）

企画立案・運営等

2002年2月 - 2007年1月

もっとみる

メディア報道

微細構造にハイブリッド機能阪大など製造技術素材内の特定場所表面加工親水・撥水薄膜を実現

日刊工業新聞 2017年5月
放射線損傷ない正確な結晶構造決定タンパク質で初の成功 SACLAのレーザーX線利用

科学新聞 2014年6月
X線光子同時吸収理研など 1つの原子に当て成功

日経産業新聞 2014年2月
エックス線自由電子レーザー集光強度、4万倍に理研など鏡を開発

日経産業新聞 2012年12月
最高強度のX線レーザー高輝度センター米の1.5倍実現

日刊工業新聞 2012年12月
What lies beneath: mapping hidden nanostructures

RIKEN Research 2012年2月
物質中の電子密度や特定元素の分布観察大視野・高分解能Ｘ線顕微鏡阪大、名大、理研の研究グループ開発

科学新聞 2011年10月
元素識別が可能に大視野、高分解能Ｘ線顕微鏡を開発阪大など

化学工業日報 2011年10月
大視野で高分解能阪大などがＸ線顕微鏡

日刊工業新聞 2011年10月
原子見分ける顕微鏡阪大・理研など開発

読売新聞 2011年9月
10ナノのくぼみはっきり新型のＸ線顕微鏡阪大グループ開発

朝日新聞（大阪） 2010年5月
Ｘ線顕微鏡観察精度10ナノ以下

日経産業新聞 2010年4月
たんぱく質結晶構造解析用 1マイクロメートル径X線ビーム作成

日刊工業新聞 2010年1月
エックス線ビーム世界最小レベル成功

毎日新聞 2009年12月
エックス線ビーム世界最小レベル成功

毎日新聞（大阪） 2009年12月
世界最小径7ナノエックス線実現

フジサンケイビジネスアイ 2009年12月
エックス線を1000分の1ミリに

東京新聞 2009年12月
極細X線、直径7ナノメートル細胞活動に光

日本経済新聞 2009年11月
世界最小直径X線ビーム

朝日新聞（大阪） 2009年11月
直径7ナノのX線ビーム顕微鏡解像度向上へ

日刊工業新聞 2009年11月

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山内和人

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経歴

受賞

論文

MISC

書籍等出版物

講演・口頭発表等

担当経験のある科目(授業)

所属学協会

共同研究・競争的資金等の研究課題

学術貢献活動

メディア報道

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