2020年8月1日
Etching process of narrow wire and application to tunable-barrier electron pump
Review of Scientific Instruments
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- 巻
- 91
- 号
- 8
- 開始ページ
- 085110
- 終了ページ
- 085110
- 記述言語
- 掲載種別
- 研究論文(学術雑誌)
- DOI
- 10.1063/5.0011767
- 出版者・発行元
- AIP Publishing
- ID情報
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- DOI : 10.1063/5.0011767
- ISSN : 0034-6748
- eISSN : 1089-7623