Si化合物のX線光電子分光法測定における多原子共鳴について検討した。Si₃N₄とセルロース粉末の混合物ペレットにX線を照射すると、X線のエネルギーがSi 1s→3p^*共鳴領域のとき、N 1s光電子強度が減少したが、O 1s光電子強度は変化しなかった。このことから多原子共鳴による光電子強度の減少は、共鳴励起する元素に直接結合した原子のみで起こることがわかった。