PEEM(光電子顕微鏡)と軟X線放射光を組合せた顕微XAFSは固体表面の元素分析,原子価状態,電子構造,分子配向マッピングに有力な手法である。しかし、表面吸着,拡散反応などの現象を追跡するためには、より高速化が必要である。そこで、ポリキャピラリーレンズの放射光のエネルギーを変化させても焦点が変化しないという特性を活かし、軟X線領域(1.8-4.2keV)の放射光とポリキャピラリーレンズを組合せ、放射光ビーム集光の技術開発を行った。この結果、強度が55倍となり、1画像測定が10ミリ秒に短縮されたため、高速の顕微XAFS測定が可能となった。