産業財産権

特許権

ギャップで分断された薄膜の製造方法、およびこれを用いたデバイスの製造方法

  • 村田 英幸
  • ,
  • 石井 佑弥

出願番号
特願2008-121512
出願日
2008年5月7日
公開番号
特開2009-272432
公開日
2009年11月19日
特許番号/登録番号
特許5360582号
登録日
発行日
2013年12月4日

リンク情報
J-GLOBAL
https://jglobal.jst.go.jp/detail?JGLOBAL_ID=200903009546834746
ID情報
  • J-Global ID : 200903009546834746