特許権 ギャップで分断された薄膜の製造方法、およびこれを用いたデバイスの製造方法 国立大学法人北陸先端科学技術大学院大学 村田 英幸, 石井 佑弥 出願番号 特願2008-121512 出願日 2008年5月7日 公開番号 特開2009-272432 公開日 2009年11月19日 特許番号/登録番号 特許5360582号 登録日 発行日 2013年12月4日 リンク情報 J-GLOBALhttps://jglobal.jst.go.jp/detail?JGLOBAL_ID=200903009546834746 ID情報 J-Global ID : 200903009546834746