Aug 30, 2010
P(VDF/TrFE)圧電薄膜を用いた超音波測定によるシリコン原子空孔評価法の開発
応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM)
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- Volume
- 71st
- Number
- First page
- ROMBUNNO.16A-ZT-1
- Last page
- Language
- Japanese
- Publishing type
- Link information
- ID information
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- J-Global ID : 201002263582257136