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Aug 29, 2006

極低温超音波計測による点欠陥性御CZシリコン結晶中の原子空孔濃度分布観測

応用物理学会学術講演会講演予稿集

金田寛
後藤輝孝
佐藤幸治
齋藤康治
根本祐一
柿本浩一
中村慎太郎

Volume: 67th
Number: 1
First page: 387
Last page
Language: Japanese
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