特許権 半導体バルク結晶の作製方法 中嶋一雄, 藩伍根, 野瀬嘉太郎 出願番号 特願2005-229260 出願日 2005年8月8日 特許番号/登録番号 特許第4292300号 登録日 発行日 2009年4月17日
