特許権 半導体装置及び製造方法 横山春喜, 横山正史, 高木信一, 竹中充 出願番号 特願2014-118087 出願日 2014年6月6日 公開番号 特開2015-231032 公開日 2015年12月21日 特許番号/登録番号 特許5863069 登録日 発行日 2016年1月8日