産業財産権

特許権

半導体装置及び製造方法

  • 横山春喜
  • ,
  • 横山正史
  • ,
  • 高木信一
  • ,
  • 竹中充

出願番号
特願2014-118087
出願日
2014年6月6日
公開番号
特開2015-231032
公開日
2015年12月21日
特許番号/登録番号
特許5863069
登録日
発行日
2016年1月8日