2022年3月 神経伝達物質の多項目検出に向けた光干渉型MEMS表面応力センサの作製と評価 第12回集積化MEMS技術研究ワークショップ優秀ポスター賞 坂上 天斗, 太田 宏之, 藤枝 俊宣, 崔 容俊, 野田 彦, 澤田 和明, 高橋 一浩