2004年 高周波プラズマCVD法により成膜したa-CNx:H薄膜のEL素子への応用 21世紀連合シンポジウム論文集 柳佳宏, 醍醐佳明, 篠田宏之, 六倉信喜 巻 3rd 号 リンク情報 J-GLOBALhttps://jglobal.jst.go.jp/detail?JGLOBAL_ID=200902220330426421 ID情報 ISSN : 1347-9717J-Global ID : 200902220330426421 エクスポート BibTeX RIS