講演・口頭発表等

2004年9月1日

超高真空高周波マグネトロンスパッタリング法により成膜したAlN薄膜の構造

応用物理学会学術講演会講演予稿集
  • 醍醐佳明
    • ,
  • 山崎卓
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  • 土井千晶
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  • 篠田宏之
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  • 六倉信喜
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  • 斎藤啓介
記述言語
日本語
会議種別
リンク情報
URL
http://jglobal.jst.go.jp/detail.php?from=API&JGLOBAL_ID=200902281657790347
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