2003年8月30日 高周波マグネトロンスパッタリング法によるGaN薄膜の成膜 (V) 応用物理学会学術講演会講演予稿集 福井勉, 醍醐佳明, 篠田宏之, 六倉信喜, 金田輝男 記述言語 日本語 会議種別 リンク情報 URLhttp://jglobal.jst.go.jp/detail.php?from=API&JGLOBAL_ID=200902212656959842