2003年8月30日 プラズマCVD法およびスパッタリング法によるa‐CNx膜の構造と光学的性質 応用物理学会学術講演会講演予稿集 醍醐佳明, 篠田宏之, 六倉信喜 記述言語 日本語 会議種別 リンク情報 URLhttp://jglobal.jst.go.jp/detail.php?from=API&JGLOBAL_ID=200902234598751229