2003年3月27日 高周波マグネトロンスパッタリング法によるa‐CNx薄膜の成膜 (VII) 応用物理学関係連合講演会講演予稿集 醍醐佳明, 小沢裕, 篠田宏之, 六倉信喜 記述言語 日本語 会議種別 リンク情報 URLhttp://jglobal.jst.go.jp/detail.php?from=API&JGLOBAL_ID=200902255837433509