2002年3月27日 CH4/N2高周波プラズマによるa‐CNx:H膜の成膜 (V) 応用物理学関係連合講演会講演予稿集 醍醐佳明, 篠田宏之, 六倉信喜 記述言語 日本語 会議種別 リンク情報 URLhttp://jglobal.jst.go.jp/detail.php?from=API&JGLOBAL_ID=200902156405770492