論文

査読有り
2021年8月

Estimating Stresses Generated in Silicon Wafer from Measured Deflection Distribution

Advanced Experimental Mechanics
  • Naoya TOYAMA
    • ,
  • Yuelin ZHANG
    • ,
  • Satoru YONEYAMA
    • ,
  • Satoshi KUWABARA
    • ,
  • Hidetomo TAKANO
巻
6
号
開始ページ
33
終了ページ
38
記述言語
英語
掲載種別
研究論文（学術雑誌）
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