安藤 悠介

Real-time Analysis of Mass Spectrum of Neutral Species Spectrum by Optical Emission Spectroscopy in Hydrocarbon Plasma Using Machine Learning with Multivariate Data Analysis 

18th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials 2026年3月5日

Atomistic origins of stress in amorphous carbon films: first-principles investigation 

46th International symposium on dry process 2025年11月14日

Prediction Method of Mass Spectrum of Neutral Species Spectrum by OES Using Machine Learning 

46th International symposium on dry process 2025年11月13日

Density functional theory study on stress generation mechanisms of amorphous carbon films 

The 14th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering 2025年11月4日

First-principles study on film stress mechanisms of amorphous carbon: the role of bond hybridization 

AVS71 Int’l symposium and exhibition 2025年9月26日

Prediction Method of Mass Spectrum of Neutral Species Spectrum by OES in Hydrocarbon Plasma Using Random Forest Regression Model 

The International Plasma Technology Joint Conference 2025 2025年6月25日

機械学習を活用した中性種スペクトルのリアルタイム解析 

第72回応用物理学会春季学術講演会

機械学習を用いたアモルファスカーボン薄膜の堆積機構におけるプロセスパラメータの寄与度解析 

第41回 プラズマ・核融合学会 年会

Prediction model for RF bias effect on etch resistance of amorphous carbon in Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition 

16th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials 2024年3月4日

Global and local contribution analysis of process parameters in Plasma-enhanced chemical vapor deposition of amorphous carbon hard mask 

4th International conference on data driven plasma sciences 2023年4月18日

Contribution analysis of process parameters in plasma-enhanced chemical vapor deposition of amourphous carbon 

15th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials, 2023年3月7日