2019年6月
Impact of Ar atom irradiation on the crystallinity of GaAs/Si interfaces fabricated by surface activated bonding at room temperature
Proceedings of the 6th International IEEE Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration
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- 記述言語
- 英語
- 掲載種別
- 記事・総説・解説・論説等（国際会議プロシーディングズ）