基本情報

所属
国立研究開発法人産業技術総合研究所 エレクトロニクス・製造領域 エレクトロニクス基盤技術研究部門 高周波・光半導体デバイス技術研究グループ  研究員
学位
博士(工学)(2025年3月 東京科学大学)
修士(工学)(2018年3月 東京工業大学)
学士(工学)(2016年3月 東京農工大学)

連絡先
yuya.yamashitaaist.go.jp
研究者番号
40826898
ORCID iD
 https://orcid.org/0000-0003-2540-0521
J-GLOBAL ID
201801004919449733
Researcher ID
AGW-7936-2022
researchmap会員ID
B000291517

専門分野は、プラズマ理工学(プラズマ診断・計測、プラズマ分光学、プラズマの原子分子物理)です。

プラズマ診断・プラズマ計測、各種プロセスプラズマの研究に、取り組んでいます。

(特に得意とする分野)

  • プラズマの分光計測(分光放射計測、分光トモグラフィなど)
  • 原子分子過程の解析、原子分子過程のモデリング(衝突輻射モデル、コロナモデル、線対法など)
  • 原子分子過程モデルに基づいたプラズマ診断(温度、密度などの診断)
  • 半導体プロセスプラズマをはじめとする、各種低温弱電離プラズマにおける、計測・診断・モデリングを通じたプロセス解明

お気軽に声がけいただければ幸いです。

過去には、光学(照明工学、放射測光学、材料光学)、半導体デバイスに関する研究開発にも携わったことがあります。

ResearchGate  https://www.researchgate.net/profile/Yuya-Yamashita


論文

  10

MISC

  58

講演・口頭発表等

  5

主要な共同研究・競争的資金等の研究課題

  8

社会貢献活動

  1

主要なメディア報道

  2