筆頭著者 2016年3月 電子ビーム蒸着と高圧水蒸気熱処理によるアモルファスシリコン薄膜の消光係数の低減 第3回集積光デバイスと応用技術研究会予稿集 山下雄也, 清水大雅, 鮫島俊之 開始ページ 27 終了ページ 28 記述言語 日本語 掲載種別 研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議） リンク情報 URLhttp://www.ieice.org/~ipd/jpn/welcome.html エクスポート BibTeX RIS
