2018年3月5日
衝突輻射モデルに基づく多数発光線解析によるマイクロ波放電低気圧アルゴンプラズマ診断
第65回応用物理学会春季学術講演会講演予稿集
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- 開始ページ
- 07-023
- 終了ページ
- 記述言語
- 日本語
- 掲載種別
- 研究発表ペーパー・要旨（全国大会，その他学術会議）
衝突輻射モデルに基づいた原子過程モデルを用いた，多数の発光線強度を入力とした，低気圧アルゴンプラズマに対する筆者らが提案する電子温度および電子密度診断法を検証した．マイクロ波放電プラズマを対象として，プローブ計測との対照実験を行った．マイクロ波電力および測定位置との依存性を測定した結果，特に電子密度についてはプローブ計測の傾向と一致することが確認でき，提案手法の妥当性が明らかとなった．