共同研究・競争的資金等の研究課題

2019年4月 - 2021年3月

幅広いプラズマ源に適用可能なアルゴンプラズマの電子温度・電子密度診断システム

地方独立行政法人東京都立産業技術研究センター  東京都立産業技術研究センター基盤研究  

担当区分
研究代表者
資金種別
その他

この研究課題の成果一覧

MISC

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