張亜 (Zhang Ya) - マイポータル - researchmap

基本情報

所属: 東京農工大学工学研究院先端電気電子部門准教授

学位: 博士（工学）(東京大学)

研究者番号: 80779637
ORCID iD: https://orcid.org/0000-0001-6108-5261
J-GLOBAL ID: 201801019625478929
researchmap会員ID: B000306499

外部リンク: http://web.tuat.ac.jp/~zhang/index.html

平成１８年７月清華大学機械工学部精密機器工学専攻卒業
平成２０年７月清華大学大学院修士課程精密機器工学専攻修了
（指導教官：李岩教授）
平成２６年９月東京大学大学院工学系研究科博士後期課程電気系
工学専攻修了博士（工学）取得
（指導教官：平川一彦教授）

研究歴
平成２６年１０月～２８年３月東京大学生産技術研究所特任研究員
平成２８年４月～３０年３月東京大学生産技術研究所特任助教
平成３０年4月～東京農工大学工学（系）研究科（研究院）准教授

研究キーワード

4

研究分野

3

経歴

3

2018年4月 - 現在

東京農工大学工学研究院, 准教授
2016年4月 - 2018年3月

東京大学, 生産技術研究所, 特任助教
2014年10月 - 2016年3月

東京大学, 生産技術研究所, 特任研究員

学歴

3

2011年10月 - 2014年9月

東京大学, 電気系工学専攻
2006年8月 - 2008年7月

清華大学, 光工学専攻
2002年8月 - 2006年7月

清華大学, 機械工学部, 精密機械工学

委員歴

1

2017年1月

応用物理学会, 代議員

受賞

8

2023年3月

丸文研究奨励賞, 丸文財団
2019年9月

学長賞, 東京農工大学
2017年9月

Best Poster Award, 14th International Conference on Intersubband Transitions in Quantum Wells (ITQW2017)

張亜
2017年4月

第１６回船井研究奨励賞受賞, 張亜, 船井情報科学振興財団
2016年6月

若手優秀講演賞受賞, 応用物理学会テラヘルツ（ＴＨｚ）電磁波技術研究会
2016年2月

第３２回井上研究奨励賞受賞, 張亜, 井上科学振興財団
2015年3月

応用物理学会講演奨励賞受賞, 応用物理学会第62回春季学術講演会

張亜
2014年5月

Best Student Paper, 41st International Symposium of Compound Semiconductors (ISCS2014)

論文

42

Uncooled, broadband terahertz bolometers using SOI MEMS beam resonators with piezoresistive readout

Ya Zhang, Kazuki Ebata, Mirai Iimori, Qian Liu, Zihao Zhao, Ryotaro Takeuchi, Hua Li, Kazusuke Maenaka, Kazuhiko Hirakawa

Microsystems & Nanoengineering 2025年7月7日
Significant tuning of dispersive mode coupling in doubly clamped MEMS beam resonators using the thermally induced buckling effect

Chao Li, Qian Liu, Kohei Uchida, Hua Li, Kazuhiko Hirakawa, Ya Zhang

Physical Review Applied 2025年5月23日最終著者責任著者
Farey tree locking of terahertz quantum cascade laser frequency combs

Guibin Liu, Xuhong Ma, Kang Zhou, Binbin Liu, Lulu Zheng, Xianglong Bi, Shumin Wu, Yanming Lu, Ziping Li, Wenjian Wan …

Light: Science & Applications 14(1) 2025年3月31日
Terahertz wave detection by doubly clamped MEMS beam resonators using piezoresistive effect in p-type modulation-doped AlGaAs/GaAs heterostructures

Kazuhiro Takahashi, Atsushi Nakanishi, Naomi Nagai, Hiroshi Satozono, Ya Zhang, Kazuhiko Hirakawa

Terahertz, RF, Millimeter, and Submillimeter-Wave Technology and Applications XVIII 20-20 2025年3月19日
Strong coherent energy exchange induced by the bending-bending mode-coupling effect in doubly clamped MEMS beam resonators

Tianye Niu, Naomi Nagai, Ya Zhang, Kazuhiko Hirakawa

Physical Review Applied 22(6) 2024年12月2日
Modeling and Control of Mechanical Nonlinearity in Doubly-Clamped Microelectromechanical System Beam Resonator

Ya Zhang, Chao Li, Mingcong Deng

2024 International Conference on Advanced Mechatronic Systems (ICAMechS) 333-337 2024年11月26日筆頭著者
Terahertz Quasi-MIM Absorber for Integrating with Thin-film MEMS Bolometers

Zihao Zhao, Kazuho Harada, Chao Li, Isao Morohashi, Ya Zhang

2024 IEEE SENSORS 1-4 2024年10月20日最終著者責任著者
Visualization of Vibration In MEMS Resonators Using Stroboscopic Differential Interference Contrast Microscopy with Enhanced Temporal Resolution

Qian Liu, Mirai Iimori, Chao Li, Ya Zhang

2024 IEEE 37th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) 584-587 2024年1月21日最終著者責任著者
Stabilized Terahertz Quantum Cascade Laser Dual-Comb Sources with a Hybrid Locking

Yiran Zhao, Ziping Li, Xuhong Ma, Kang Zhou, Wen Guan, Chenjie Wang, Shumin Wu, Han Liu, Wenjian Wan, J. C. Cao …

ACS Photonics 11(2) 520-528 2024年1月5日査読有り
Terahertz Detectors Using Microelectromechanical System Resonators

Chao Li, Ya Zhang, Kazuhiko Hirakawa

Sensors 2023年6月26日責任著者
Mechanical Control of Nonlinearity in Doubly Clamped MEMS Beam Resonators Using Preloaded Lattice-Mismatch Strain

Chao Li, Boqi Qiu, Yuri Yoshioka, Kazuhiko Hirakawa, Ya Zhang

Physical Review Applied 19(2) 2023年2月9日
Two-dimensional measurement of resonance in MEMS resonators using stroboscopic differential interference contrast microscopy

Mirai Iimori, Ya Zhang

Optics Express 2022年7月18日査読有り責任著者
Thermal and Optical Properties of Porous Nanomesh Structures for Sensitive Terahertz Bolometric Detection

Ryoko Yamamoto, Akira Kojima, Nobuyoshi Koshida, Isao Morohashi, Kazuhiko Hirakawa, Ya Zhang

Sensors 2022年7月7日最終著者責任著者
Deep-nanometer-scale terahertz spectroscopy using a transistor geometry with metal nanogap electrodes

2(31) 1-13 2021年12月15日査読有り筆頭著者責任著者
Effects of substrate phonon absorption on the resonance behavior of metal–insulator–metal metamaterial terahertz absorbers

Tianye Niu, Boqi Qiu, Ya Zhang, Kazuhiko Hirakawa

Applied Physics Express 2021年12月1日
Thermal tuning of mechanical nonlinearity in GaAs doubly-clamped MEMS beam resonators

Ya Zhang, Yuri Yoshioka, Mirai Iimori, Boqi Qiu, Xin Liu, Kazuhiko Hirakawa

Applied Physics Letters 119(16) 2021年10月18日
Enhancing the thermal responsivity of microelectromechanical system beam resonators by preloading a critical buckling strain

Boqi Qiu, Ya Zhang, Naomi Nagai, Kazuhiko Hirakawa

Applied Physics Letters 2021年10月11日
GaAs-based microelectromechanical terahertz bolometers fabricated on high-resistivity Si substrates using wafer bonding technique

Tianye Niu, Natalia Morais, Boqi Qiu, Naomi Nagai, Ya Zhang, Yasuhiko Arakawa, Kazuhiko Hirakawa

Applied Physics Letters 119(4) 2021年7月26日
1:1 internal mode coupling strength in GaAs doubly-clamped MEMS beam resonators with linear and nonlinear oscillations

Ya Zhang, Yuri Yoshioka, Isao Morohashi, Xin Liu

Applied Physics Express 14(1) 014001-014001 2021年1月1日査読有り筆頭著者責任著者
Control of absorption properties of ultra-thin metal–insulator–metal metamaterial terahertz absorbers

Japanese Journal of Applied Physics 59(12) 120904-120904 2020年12月1日査読有り

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MISC

51

p型GaAs/AlGaAsヘテロ構造を用いたMEMS共振器によるテラヘルツ波検出

高橋和宏, 高橋和宏, 中西篤司, 長井奈緒美, 里園浩, ZHANG Ya, 平川一彦, 平川一彦

電子情報通信学会技術研究報告(Web) 124(314(ED2024 54-65)) 2024年
SOI微小電気機械システム共振器による室温動作するテラヘルツ検出器の開発

EBATA Kazuki, IIMORI Mirai, SUZUKI Takehito, YAMAMORI Shunji, URASHIMA Kouhei, MOROHASHI Isao, MAENAKA Kazusuke, HIRAKAWA Kazuhiko, ZHANG Ya

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 71st 2024年
室温テラヘルツ検出に向けたSOI微小電気機械システム共振器の圧抵抗効果による振動検出構造の作製

IIMORI Mirai, EBATA Kazuki, TAKEUCHI Ryotaro, MOROHASHI Isao, MAENAKA Kazusuke, HIRAKAWA Kazuhiko, ZHANG Ya

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 71st 2024年
薄膜MEMSボロメータと集積化するためのテラヘルツ準MIM吸収体の作製【JST機械翻訳】

HARADA Kazuho, ZHAO Zihao, LI Chao, MOROHASHI Isao, ZHANG Ya

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 85th 2024年
P型変調ドープGaAs/AlGaAsヘテロ構造を用いたMEMS共振器の特性改善に関する検討

高橋和宏, 高橋和宏, 中西篤司, 里園浩, 長井奈緒美, ZHANG Ya, 平川一彦

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 85th 2024年
薄膜MEMSボロメータと集積化するための多周波数テラヘルツ準MIM吸収体【JST機械翻訳】

ZHAO Zihao, HARADA Kazuho, LI Chao, MOROHASHI Isao, ZHANG Ya

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 85th 2024年
ストロボ差分干渉コントラスト顕微鏡法を用いたMEMS共振器における歪分布の可視化【JST機械翻訳】

LIU Qian, IIMORI Mirai, ZHANG Ya

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 85th 2024年
MEMS共振器構造を用いた高速・高感度熱型赤外センサー

平川一彦, ZHANG Ya

日本赤外線学会誌 33(1) 2023年
位相シフト補正を備えたストロボ微分干渉顕微鏡法を用いたMEMSデバイスの面外運動の測定

IIMORI Mirai, ZHANG Ya

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 70th 2023年
MEMS技術を用いた室温動作・高感度・高速テラヘルツセンシング

平川一彦, ZHANG Ya, QIU Boqi, NIU Tianye, 長井奈緒美

表面と真空 65(6) 2022年
MEMS梁共振器のモード間結合効果によるコヒーレントエネルギー移動の直接観測

NIU Tianye, NAGAI Naomi, ZHANG Ya, HIRAKAWA Kazuhiko

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 83rd 2022年
P型GaAsヘテロ構造を用いたMEMSボロメータ構造のピエゾ抵抗信号検出と周波数雑音

小田嶋修, 小田嶋修, QIU Boqi, NIU Tianye, NIU Tianye, 渡辺宣朗, 長井奈緒美, ZHANG Ya, 平川一彦

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 83rd 2022年
SOI微小電気機械システム共振器による室温動作するテラヘルツ検出器の開発

EBATA Kazuki, MIRAI Iimori, MOROHASHI Isao, ZHANG Ya

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 83rd 2022年
GaAs MEMS梁共振器構造における内部モード間結合係数の測定

FUKUDA Kyoji, MOROHASHI Isao, HIRAKAWA Kazuhiko, HIRAKAWA Kazuhiko, ZHANG Ya

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 69th 2022年
5次ダフィング非線形性によるMEMS両持ち梁共振器における強いモード間結合効果

NIU Tianye, QIU Boqi, NAGAI Naomi, ZHANG Ya, HIRAKAWA Kazuhiko

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 69th 2022年
半導体MEMS共振器を用いた室温動作・高速・高感度テラヘルツ検出器

平川一彦, ZHANG Ya, QIU Boqi, NIU Tianye, 長井奈緒美

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 69th 2022年
微分干渉顕微法によるMEMSデバイスの2次元共振特性の測定

IIMORI Mirai, ZHANG Ya

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 69th 2022年
半導体マイクロ/ナノ構造における熱輸送の超高速分光技術

ZHANG Ya

旭硝子財団助成研究成果報告(Web) 2021 2021年
内部モード結合により誘起されたGaAs MEMSビーム共振器における共鳴周波数シフト【JST・京大機械翻訳】

FUKUDA Kyoji, ZHANG Ya, MOROHASHI Isao, HIRAKAWA Kazuhiko

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 82nd 2021年
THzボロメータ応用に向けたMEMS梁共振器におけるピエゾ抵抗検出

QIU Boqi, WATANABE Nobuaki, ZHANG Ya, NAGAI Naomi, HIRAKAWA Kazuhiko

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 82nd 2021年

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主要な講演・口頭発表等

46

Terahertz MEMS bolometers with enhanced thermal sensitivity by phononic crystal structures

張亜

The 47th International Conference on Infrared, Millimeter, and Terahertz Waves 2021年8月31日招待有り
Novel bolometric THz detection by MEMS resonators

Y. Zhang, K. Hirakawa

43rd International Conference on Infrared, Millimeter and Terahertz Waves(IRMMW-THz2018) 2018年9月招待有り
Novel thermomechanical terahertz detection by using fundamental and coupled modes in doubly clamped MEMS beam resonators

Y. Zhang, K. Hirakawa

The 13th Pacific Rim Conference on Lasers and Electro-Optics 2018年7月招待有り

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所属学協会

1

応用物理学会

共同研究・競争的資金等の研究課題

10

振動モードの可視化によるMEMS共振器に内在する非線形モード間結合効果の解析

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 2024年4月 - 2027年3月

張亜, 平川一彦, とう明聡
Si系材料を用いた超広帯域・高速なMEMSテラヘルツ・赤外ボロメータの開発

科学技術振興機構産学が連携した研究開発成果の展開研究成果展開事業研究成果最適展開支援プログラム(A-STEP) 産学共同(育成型) 2023年 - 2025年

張亜
半導体微小機械共振器中のモード間結合効果の解明と超高感度テラヘルツ波検出への応用

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(C) 基盤研究(C) 2021年4月 - 2024年3月

張亜
Novel terahertz NEMS bolometers by using two-dimensional nanomaterials

日本学術振興会科学研究費助成事業若手研究若手研究 2019年4月 - 2021年3月

張亜
Thermal phonon spectroscopy of phonoic crystals by using a MEMS thermometer

日本学術振興会科学研究費助成事業若手研究(B) 若手研究(B) 2017年4月 - 2019年3月

張亜, 平川一彦, 野村政宏
Thermal phonon spectroscopy of phonoic crystals by using a MEMS thermometer

JSPS科研費補助金若手研究（B） 2017年4月 - 2019年3月

張亜
Energy harvesting from waste heat by using InAs quantum dots

日本学術振興会科学研究費助成事業研究活動スタート支援研究活動スタート支援 2016年8月 - 2018年3月

張亜
Energy harvesting from waste heat by using InAs quantum dots

JSPS科研費補助金研究活動スタート支援 2016年4月 - 2018年3月

張亜
Thermal phonon spectroscopy of phonoic crystals by using a MEMS thermometer

若手研究(B) 2017年 - 2018年
MEMS共振器構造を用いた非冷却高感度テラヘルツボロメータの開拓

日本学術振興会科学研究費助成事業挑戦的萌芽研究挑戦的萌芽研究 2015年4月 - 2017年3月

平川一彦, 野村政宏, 吉田健治, 張亜

産業財産権

4

特許7619708 光センサー，光検出装置，及びテラヘルツ・赤外フーリ工分光器

張亜, 江端一貴, 飯森未来
特願2023-111760 振動解析システム

張亜, 劉千, 飯森未来
特願2021-208457 振動解析装置，及び振動解析方法

張亜, 飯森未来
特許6892105 テラヘルツ波検出装置

平川一彦、張亜、細野優、渡辺康行

社会貢献活動

3

新しい原理のテラヘルツ検出器を開発〜MEMS技術により室温で⾼感度･⾼速動作〜

その他

国立研究開発法人物質・材料研究機構、文部科学省ナノテクノロジープラットフォームナノテク情報 2019年5月24日 - 2019年5月24日
新しい原理のテラヘルツ検出器を開発

その他

Laser Focus World Japan 2019年5月14日 - 2019年5月14日
MEMS両持ちはり共振器構造を作製︓ 室温で⾼速かつ⾼感度にテラヘルツ電磁波を検出

その他

EEtimes Japan 2019年5月10日 - 2019年5月10日