山村和也 (Kazuya Yamamura) - マイポータル

基本情報

所属: 大阪大学大学院工学研究科教授

学位: 博士(工学)(2001年1月大阪大学)
工学修士(1991年3月大阪大学)

通称等の別名: 山村和也
研究者番号: 60240074
J-GLOBAL ID: 200901078612393742
researchmap会員ID: 1000030590

外部リンク: http://www-nms.prec.eng.osaka-u.ac.jp

研究キーワード

研究分野

経歴

2021年4月 - 現在

大阪大学大学院工学研究科附属精密工学研究センター, センター長
2017年8月 - 現在

大阪大学教授
2009年4月 - 現在

理化学研究所客員研究員
2007年4月 - 2017年8月

大阪大学准教授
2009年4月 - 2010年3月

大阪電気通信大学客員研究員
2001年8月 - 2007年3月

大阪大学助教授
1991年4月 - 2001年7月

大阪大学助手

学歴

委員歴

2017年 - 現在

（公社）精密工学会, フェロー
2016年 - 現在

（一社）電気加工学会, 理事
2016年 - 現在

（一社）電気加工学会西日本支部, 幹事
2012年 - 現在

（公社）精密工学会超精密加工専門委員会, 幹事
2011年 - 現在

（公社）精密工学会, 代議員
2006年 - 現在

（公社）精密工学会関西支部, 商議員
2019年 - 2022年

（公社）砥粒加工学会関西地区部会, 会計監査
2017年 - 2018年

（公社）砥粒加工学会, 理事
2010年 - 2017年

（公社）精密工学会関西支部, 庶務幹事
2015年 - 2016年

（公社）砥粒加工学会関西地区部会, 幹事
2008年 - 2010年

（社）精密工学会, 校閲委員会委員
2008年 - 2009年

（社）精密工学会, 評議員
2007年 - 2009年

（社）精密工学会, 周年事業検討ワーキンググループ委員
2007年 - 2009年

（社）精密工学会関西支部, 会計幹事

受賞

2024年3月

精密工学会沼田記念論文賞, 公益社団法人精密工学会

楊旭、楊暁喆、青木一史、山村和也
2023年6月

工作機械技術振興賞・人材育成賞, 公益社団法人工作機械技術振興財団

山村和也
2023年3月

精密工学会高城賞, 公益社団法人精密工学会

孫栄硯野副厚訓永橋潤司有馬健太川合健太郎山村和也
2022年12月

SEMICON Japan 2022 アカデミアAward 最優秀賞, SEMICON Japan

山村研究室
2021年9月

精密工学会技術賞, 公益社団法人精密工学会

赤羽優子, 佐藤幸男, 菅原宏輝, 山村和也, 山田英明
2021年4月

文部科学大臣表彰科学技術賞開発部門

北田勝信, 山村和也, 深野徹, 宮﨑史朗, 渡辺啓一郎
2020年11月

Best Paper Award, 18th International Conference on Precision Engineering (ICPE2020)

X. Yang, Xu. Yang, K. Kawai, K. Arima, K. Yamamura
2017年7月

井上春成賞, 井上春成賞委員会

山村和也, 谷本秀夫
2016年8月

Rudolf Kingslake Medal and Prize, SPIE

X. Shen, Q. Tu, J. Zhou, H. Deng, G. Jiang, K. Yamamura
2015年12月

平成28年度表面技術協会論文賞, 表面技術協会

是津信行, 山村和也, 井筒祐志, 我田元, 大石修治, 手嶋勝弥
2015年2月

岩木トライボコーティングネットワークアワード（岩木賞）優秀賞, 一般社団法人未来生産システム学協会

山村和也
2014年7月

大阪大学総長顕彰, 大阪大学

山村和也
2014年6月

工作機械技術振興賞（論文賞）, 公益財団法人工作機械技術振興財団

トウキ, 山村和也
2011年11月

Best Paper Award, 4th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology

H. Deng, M. Ueda, K. Yamamura
2011年11月

Best Paper Award, 4th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology

X. Shen, Y. Dai, W. Peng, M. Nagano, K. Yamamura
2009年11月

Best Paper Award, 3rd Asian Symposium for Precision Engineering and Nanotechnology

Shuhei Uchida, Nobuyuki Zettsu, Kazuya Yamamura
2007年11月

Best Poster Presentation Award, Asian Symposium for Precision Engineering and Nanotechnology 2007

Hiroyuki Takai, Kazuya Yamamura
2006年11月

Best Paper Award 2006, The 8th International Conference on Progress of Machining Technology

Kazuya Yamamura, Kunihito Kato, Yasuhisa Sano, Masafumi Shibahara, Katsuyoshi Endo, Yuzo Mori
2003年6月

工作機械技術振興賞（論文賞）, （財）工作機械技術振興財団

森勇藏, 山村和也, 佐野泰久
2003年3月

精密工学会賞, (社)精密工学会

森勇藏, 山村和也, 佐野泰久

もっとみる

論文

321

Insights into the atomic-scale removal mechanism of single crystal diamond in plasma-assisted polishing with quartz glass

Nian Liu, Huilong Jiang, Junfeng Xiao, Jianguo Zhang, Xiao Chen, Jingming Zhu, Jianfeng Xu, Kazuya Yamamura

Tribology International 194 109507-109507 2024年3月4日査読有り最終著者
Identification of the surface chemical species of plasma-treated polytetrafluoroethylene by ab-initio calculations of the core-energy-level shift in X-ray photoelectron spectra

M. Nishino, K. Inagaki, Y. Morikawa, K. Yamamura, Y. Ohkubo

Applied Surface Science in Press 2024年1月8日査読有り
Effects of electrolyte type and concentration on the anodic oxidation of 4H-SiC (0001) in slurryless electrochemical mechanical polishing

Xiaozhe Yang, Xu Yang, Kazuya Yamamura

Electrochimica Acta 474 143531-143531 2023年11月19日査読有り最終著者責任著者
プラズマ／電気化学プロセスを援用したナノ精度の形状加工と難加工材料のダメージフリー研磨

山村和也

日本機械学会誌 126(1259) 8-13 2023年10月5日招待有り筆頭著者
「ナノ製造プロセスの最前線」特集によせて

山村和也

日本機械学会誌 126(1259) 6-7 2023年10月5日招待有り筆頭著者
Preparation of platinum-free manganese oxide (MnOx) catalyst film for H2O2 decomposition in contact-lens cleaning

Y. Ohkubo, D. Fukuoka, Y. Seto, M. Nishino a, K. Endo a, K. Yamamura

Thin Solid Films 2023年9月9日査読有り
Direct adhesion between Cu foil and polytetrafluoroethylene without increasing surface roughness for high-frequency printed wiring boards

M. Nishino, T. Kodama, K. Yamamura, Y. Ohkubo

RSC Advances 13(37) 25895-25903 2023年8月30日査読有り
Selective electrochemical mechanical polishing of 4H–SiC surface employing porous material impregnated with electrolyte

Xiaozhe Yang, Xu Yang, Zhuangde Jiang, Kazuya Yamamura

Ceramics International 49(22) 34569-34581 2023年8月9日査読有り最終著者
Slurryless electrochemical mechanical polishing of 4-inch 4H–SiC (0001) and (000–1) surfaces

Xu Yang, Xiaozhe Yang, Kazufumi Aoki, Kazuya Yamamura

Precision Engineering 83 237-249 2023年6月6日査読有り最終著者責任著者
Highly efficient finishing of large-sized single crystal diamond substrates by combining nanosecond pulsed laser trimming and plasma-assisted polishing

Nian Liu, Kentaro Sugimoto, Naoya Yoshitaka, Hideaki Yamada, Rongyan Sun, Kenta Arima, Kazuya Yamamura

Ceramics International 49(11) 19109-19123 2023年3月6日査読有り最終著者責任著者
Surface modification and adhesive-free adhesion of polytetrafluoroethylene (PTFE) and silicone gel containing oleophilic SiO2 powder by plasma treatment

E. Miyake, Y. Seto, M. Nishino, I. Komatsu, K. Endo, K. Yamamura, Y. Ohkubo

RSC Advances 13(3) 1834-1841 2023年1月9日査読有り
プラズマ援用研磨による大面積ダイヤモンド基板の高能率ダメージフリー研磨

山村和也

ニューダイヤモンド誌 39(1) 37-39 2023年1月招待有り筆頭著者
スラリーレス電気化学機械研磨によるSiCのダメージフリー研磨

山村和也

表面技術誌 73(11) 523-527 2022年11月招待有り筆頭著者
難研磨材料のスラリーレスプラズマ援用研磨と電気化学機械研磨

山村和也

精密工学会誌 88(6) 440-444 2022年6月招待有り筆頭著者
Effects of polishing pressure and sliding speed on the material removal mechanism of single crystal diamond in plasma-assisted polishing

Nian Liu, Kentaro Sugimoto, Naoya Yoshitaka, Hideaki Yamada, Rongyan Sun, Kentaro Kawai, Kenta Arima, Kazuya Yamamura

Diamond and Related Materials 124 108899-108899 2022年4月査読有り最終著者責任著者
Nanocarbon-Induced Etching Property of Semiconductor Surfaces: Testing Nanocarbon’s Catalytic Activity for Oxygen Reduction Reaction at a Single-Sheet Level

Ayumi Ogasawara, Kentaro Kawai, Kazuya Yamamura, Kenta Arima

ECS Journal of Solid State Science and Technology 11(4) 041001-041001 2022年4月1日査読有り
Separation of Neighboring Terraces on a Flattened Si(111) Surface by Selective Etching along Step Edges Using Total Wet Chemical Processing

Zhida Ma, Seiya Masumoto, Kentaro Kawai, Kazuya Yamamura, Kenta Arima

Langmuir 38(12) 3748-3754 2022年3月29日査読有り
Charge Utilization Efficiency and Side Reactions in the Electrochemical Mechanical Polishing of 4H-SiC (0001)

Xiaozhe Yang, Xu Yang, Haiyang Gu, Kentaro Kawai, Kenta Arima, Kazuya Yamamura

Journal of The Electrochemical Society 169(2) 023501-023501 2022年2月1日査読有り最終著者責任著者
Adhesive-free adhesion between plasma-treated glass-cloth-containing polytetrafluoroethylene (GC-PTFE) and stainless steel: Comparison between GC-PTFE and pure-PTFE

M. Nishino, Y. Okazaki, Y. Seto, T. Uehara, K. Endo, K. Yamamura, Y. Ohkubo

Polymers 14(3) 394 2022年1月20日査読有り
プラズマを援用した大面積単結晶ダイヤモンド基板の高能率ダメージフリー研磨技術の開発

赤羽優子, 佐藤幸男, 菅原宏輝, 山村和也, 山田英明

精密工学会誌 88(2) 133-136 2022年1月招待有り

もっとみる

MISC

839

プラズマ援用研磨法の開発(第25報)-RS-SiC材のSiC成分とSi成分の酸化レートの評価-

陶通, 孫栄硯, 川合健太郎, 有馬健太, 山村和也

精密工学会大会学術講演会講演論文集 2022 2022年
プラズマ援用研磨法の開発(第24報)-CF₄プラズマ照射前後におけるAlN基板とダイヤモンド砥粒との吸着力の変化-

孫栄硯, 陶通, 川合健太郎, 有馬健太, 山村和也

精密工学会大会学術講演会講演論文集 2022 2022年
プラズマ援用研磨による多結晶ダイヤモンド基板の高能率ダメージフリー平坦・平滑化に関する研究(第1報)

杉本健太郎, 孫栄硯, 川合健太郎, 有馬健太, 山村和也

砥粒加工学会学術講演会講演論文集(CD-ROM) 2022 2022年
Si表面の溝底部に埋め込んだ金属原子からの光電子検出~光電子検出量の脱出角依存性の検討~

東知樹, 孫栄硯, 川合健太郎, 山村和也, 有馬健太

精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集 2022 2022年
プラズマ援用研磨による単結晶ダイヤモンド基板の高能率ダメージフリー加工-研磨レートおよび表面性状の研磨圧力依存性および摺動速度依存性に関する検討-

杉本健太郎, 劉念, 吉鷹直也, 孫栄硯, 川合健太郎, 有馬健太, 山村和也

精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集 2022 2022年
第一原理計算を用いたナノグラフエン上の特異な超構造電子状態の解析

李君寰, 稲垣耕司, 川合健太郎, 孫栄硯, 山村和也, 有馬健太

精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集 2022 2022年
プラズマ援用研磨による多結晶ダイヤモンド基板の高能率ダメージフリー平坦・平滑化に関する研究(第1報)

杉本健太郎, 孫栄硯, 川合健太郎, 有馬健太, 山村和也

精密工学会大会学術講演会講演論文集 2022 2022年
中性子集光用高精度Wolterミラーマンドレルの作製(第14報)-PCVMにおける加工温度と表面粗さの相関-

須場健太, 山本有悟, 孫栄硯, 川合健太郎, 有馬健太, 山村和也, 丸山龍治, 曽山和彦, 林田洋寿

精密工学会大会学術講演会講演論文集 2022 2022年
サブ分子層の吸着水がGeO₂/Ge界面の電気特性に与える影響の超精密計測

佐野修斗, 和田陽平, 孫栄硯, 川合健太郎, 山村和也, 有馬健太

精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集 2022 2022年
Si表面の溝底部に埋め込んだ金属原子からの光電子検出~光電子検出量の脱出角依存性の検討~

東知樹, 孫栄硯, 山村和也, 有馬健太

精密工学会大会学術講演会講演論文集 2022 2022年
数値制御プラズマCVMによるWolterミラーマンドレルの高精度加工

須場健太, 山本有悟, 孫栄硯, 川合健太郎, 有馬健太, 山村和也, 丸山龍治, 曽山和彦, 林田洋寿

精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集 2022 2022年
プラズマ援用研磨法の開発(第21報)-ビトリファイドボンド砥石を用いたドレスフリー研磨法の開発-

孫栄硯, 川合健太郎, 有馬健太, 山村和也, 永橋潤司, 野副厚訓

精密工学会大会学術講演会講演論文集 2021 2021年
減圧プラズマフッ化における焼結AlN基板のフッ化レートの評価

孫栄硯, 陶通, 川合健太郎, 有馬健太, 山村和也

精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集 2021 2021年
減圧プラズマ酸化における反応焼結SiCの酸化特性

陶通, 孫栄硯, 川合健太郎, 有馬健太, 山村和也

精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集 2021 2021年
プラズマCVM加工におけるガス組成と最適加工ギャップの関係

北出隼人, 孫栄硯, 川合健太郎, 有馬健太, 山村和也

精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集 2021 2021年
窒化アルミニウムセラミックス材のプラズマ援用研磨に関する研究-異なる粒径のビトリファイドボンドダイヤモンド砥石を用いたAlN基板の研磨特性-

陶通, 孫栄硯, 川合健太郎, 有馬健太, 山村和也

砥粒加工学会学術講演会講演論文集(CD-ROM) 2021 2021年
プラズマ援用研磨法の開発(第22報)-フッ素系ガスを用いたプラズマ援用研磨における砥石成分の付着抑制-

孫栄硯, 陶通, 川合健太郎, 有馬健太, 山村和也

精密工学会大会学術講演会講演論文集 2021 2021年
マイクロ波プラズマジェット型プラズマCVMにおける加工痕形状の考察

北出隼人, 孫栄硯, 川合健太郎, 有馬健太, 山村和也

精密工学会大会学術講演会講演論文集 2021 2021年
プラズマ援用研磨法の開発(第23報)-AlN基板の研磨における砥粒材質と研磨特性の相関-

陶通, 孫栄硯, 川合健太郎, 有馬健太, 山村和也

精密工学会大会学術講演会講演論文集 2021 2021年
プラズマ援用研磨法の開発(第19報)-AlN基板の研磨特性の評価-

孫栄硯, 川合健太郎, 有馬健太, 山村和也

精密工学会大会学術講演会講演論文集 2020 2020年

もっとみる

書籍等出版物

接着界面解析と次世代接着接合技術

大久保雄司, 山村和也 (担当:共著, 範囲:第2編, 第3章, 第9節, 熱アシストプラズマ処理によるフッ素樹脂-異種材料の直接接着技術)

(株)エヌ･ティー･エス、東京 2022年10月
Chapter 41. Plasma-Based Nanomanufacturing Under Atmospheric Pressure, Handbook of Manufacturing Engineering and Technology

K. Yamamura, Y. Sano (担当:分担執筆)

Springer 2014年10月 (ISBN: 9781447146698)
超精密加工と表面科学原子レベルの生産技術

山村和也他 (担当:分担執筆)

大阪大学出版会 2014年3月
精密加工と微細構造の形成技術, 第1章第2節[9], プラズマ援用研磨による SiCのスクラッチフリー・ダメージフリー仕上げ

山村和也

技術情報協会 2013年7月 (ISBN: 9784861044830)
大気圧プラズマの生成制御と応用技術改訂版第6章第3節プラズマCVMによる超精密形状創成とプラズマ援用研磨による表面仕上げ

山村和也, 佐野泰久, 森勇藏 (担当:分担執筆)

サイエンス&テクノロジー 2012年3月 (ISBN: 9784864280396)
Generation and Applications of Atmospheric Pressure Plasmas, Chapter 15. Ultra precision machining using plasma chemical vaporization machining (CVM)

K. Yamamura, Y. Sano, Y. Mori (担当:分担執筆)

Nova Science Publishers 2011年4月 (ISBN: 9781612097176)
Crystal Growth Technology (Chapter 18; Crystal Machining Using Atmospheric Pressure Plasma)

Yasuhisa Sano, Kazuya Yamamura, Kazuto Yamauchi

WILEY-VCH 2010年9月 (ISBN: 9783527325931)
次世代パワー半導体－省エネルギー社会に向けたデバイス開発の最前線－第1章第1節2 PCVMを用いたSiC基板の薄化

佐野泰久, 山村和也, 山内和人 (担当:分担執筆)

(株)エヌ・ティー・エス 2009年10月
大気圧プラズマ基礎と応用 6.7.5 マイクロ／ナノ加工日本学術振興会プラズマ材料科学第153委員会

佐野泰久, 山村和也, 山内和人 (担当:分担執筆)

オーム社 2009年10月 (ISBN: 9784274207600)
ウエットエッチングのメカニズムと処理パラメータの最適化,第1章第10節ローカルウエットエッチング法による光学素子の高精度加工

山村和也 (担当:分担執筆)

サイエンス&テクノロジー 2008年7月 (ISBN: 9784903413471)
Crystal Growth Technology (Chapter 19; Plasma Chemical Vaporization Machining and Elastic Emission Machining)

Yasuhisa Sano, Kazuya Yamamura, Hidekazu Mimura, Kazuto Yamauchi, Yuzo Mori

Wiley-VCH 2008年3月 (ISBN: 9783527317622)
大気圧プラズマの生成制御と応用技術, 第13節プラズマCVMによる超精密加工

山村和也, 佐野泰久, 森勇藏 (担当:分担執筆)

サイエンス＆テクノロジー 2006年11月 (ISBN: 4903413136)
Crystal Growth Technology(Plasma-CVM(Chemical Vaporization Machining))

Yuzo Mori, Kazuya Yamamura, Yasuhisa Sano (担当:分担執筆)

John Wiley & Sons 2003年10月
加工技術データファイル基礎編（特殊加工）、5.7プラズマＣＶＭ

森勇藏, 山村和也, 佐野泰久 (担当:分担執筆)

（財）機械振興協会技術研究所 2003年6月
精密加工の最先端技術、第８章Ⅳ、「プラズマＣＶＭの加工特性と表面物性」

森勇藏, 山村和也 (担当:分担執筆)

工業調査会 1996年3月
精密加工の最先端技術

工業調査会 1996年
Advanced Ultraprecision Technology

1996年

担当経験のある科目(授業)

2020年 - 現在

精密工学特別演習Ⅳ
2020年 - 現在

精密工学特別演習Ⅲ
2020年 - 現在

精密工学特別演習Ⅱ
2020年 - 現在

精密工学特別演習Ⅰ
2020年 - 現在

精密工学演習Ⅳ
2020年 - 現在

精密工学演習Ⅲ
2020年 - 現在

精密工学演習Ⅱ
2020年 - 現在

精密工学演習Ⅰ
2020年 - 現在

ナノ製造科学特論
2007年 - 現在

物理化学加工
2006年 - 現在

先端科学序論 I
2002年 - 現在

精密科学機器特論 II
2002年 - 現在

機器製作概論
2001年 - 現在

研究指導
2001年 - 現在

卒業研究
1991年 - 現在

精密科学実験
1991年 - 現在

ゼミナール III
1991年 - 現在

ゼミナール II
2018年 - 2019年

先端機器システム特論
1991年 - 2019年

精密科学特別演習 II

もっとみる

所属学協会

Works(作品等)

もっとみる

共同研究・競争的資金等の研究課題

プラズマナノ製造プロセスによる完全無歪加工の実現とその学理の探究

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(S) 基盤研究(S) 2021年7月 - 2026年3月

山村和也, 有馬健太, 孫栄硯
プラズマナノ製造プロセスによる単結晶SiCウエハの高能率ダメージフリー製造

日本学術振興会二国間交流事業（共同研究） 2022年4月 - 2023年3月

山村和也孫栄硯 DENG Hui
超音波を援用したワイドギャップ半導体基板のスラリーレス電気化学機械研磨装置の開発

日本学術振興会科学研究費助成事業挑戦的研究(萌芽) 挑戦的研究(萌芽) 2021年7月 - 2023年3月

山村和也
能動制御型超音波援用スラリーレス電気化学機械研磨法の開発

産学が連携した研究開発成果の展開研究成果展開事業研究成果最適展開支援プログラム(A-STEP) 産学共同(育成型) 2020年12月 - 2023年3月

山村和也
深部磁気構造研究のための中性子顕微鏡の開発

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 基盤研究(B) 2020年4月 - 2023年3月

曽山和彦, 林田洋寿, 山村和也
大面積ダイヤモンド基板のダメージフリー平坦化・平滑化一貫プロセス技術の開発

JST A-STEP シーズ育成タイプ 2018年10月 - 2022年3月
プラズマナノ製造プロセスによる機能性材料の高能率ダメージフリー加工

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(A) 基盤研究(A) 2018年4月 - 2021年3月

山村和也
反応性プラズマを援用したセラミックス材料のダメージフリー形状創成・仕上げ加工技術の開発

JST A-STEP 産業ニーズ対応タイプ 2016年12月 - 2021年3月
能動制御型電気化学機械研磨による難加工材料のスラリーレス高能率加工

日本学術振興会科学研究費助成事業挑戦的研究(萌芽) 挑戦的研究(萌芽) 2018年6月 - 2020年3月

山村和也
熱アシストプラズマ処理によるフッ素樹脂の接着剤レス強力接合

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(C) 基盤研究(C) 2015年4月 - 2018年3月

大久保雄司, 山村和也, 柴原正文, 長谷朝博, 本田幸司
磁気イメージングのためのWolter型中性子顕微鏡の研究

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 基盤研究(B) 2015年4月 - 2018年3月

曽山和彦, 林田洋寿, 山村和也
大気圧プラズマを援用した硬脆ワイドギャップ半導体基板の高能率無歪仕上げ法の開発

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(A) 基盤研究(A) 2013年4月 - 2017年3月

山村和也, 山田英明
超冷中性子の重力による量子効果を用いた等価原理の検証と未知短距離力の探索

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 2012年4月 - 2016年3月

駒宮幸男, 神谷好郎, 山村和也, 佐貫智行
能動制御型電気化学機械研磨による難加工材料のスラリーレス高能率加工

三豊科学技術振興協会 2016年
大気圧プラズマプロセスを援用したインチサイズダイヤモンド基板の高能率平坦化・平滑化

村田学術振興財団 2016年
プラズマ援用ダメージフリープロセス

金型技術振興財団 2016年
陽極酸化を援用した金型用SiC材の高能率・高精度形状創成と表面仕上げ法の開発

日本学術振興会科学研究費助成事業挑戦的萌芽研究挑戦的萌芽研究 2013年4月 - 2015年3月

山村和也
大気圧プラズマプロセスをベースとしたパワーデバイス用大口径単結晶ダイヤモンド基板の高能率ダメージフリー平坦化・平滑化プロセスの開発

大澤科学技術振興財団 2015年
金型用CVD-SiC材のオールドライ高能率ダメージフリー形状創成・表面仕上げプロセスの開発

工作機械技術振興財団 2015年
電気化学的表面改質を複合した金型用高硬度材料の高能率ダメージフリー研磨法の開発

マザック財団 2015年

もっとみる

産業財産権

特開2019-199641 表面改質成型体の製造方法

大久保雄司, 山村和也, 秋山大作, 東松逸朗, 斉藤知志
特開2019-137731 表面処理方法及び装置

大下貴也, 上原剛, 青山哲平, 山村和也, 大久保雄司, 小玉欣典
特開2019-131451 多成分材料のプラズマエッチング加工方法

山村和也, 大久保雄司, 孫栄硯
特許第6564283号金属含有膜付き誘電体基材の製造方法

大久保雄司, 山村和也, 小玉欣典, 澤田公平, 久保田和宏
特許第6551391号誘電体基材表面の金属化方法及び金属膜付き誘電体基材

山村和也, 大久保雄司, 佐藤悠, 疋田真也
特許第6329655号陽極酸化を援用した研磨方法

山村和也
特開2016-56363 表面改質成型体の製造方法、及び該表面改質成型体を用いた複合体の製造方法

山村和也, 大久保雄司, 石原健人, 柴原正文, 長谷朝博, 本田幸司
特願2016-035730 数値制御プラズマ処理方法及びその装置

山村和也, 境谷省吾, 舩戸大輔
特許第5721254号誘電体基材表面の触媒フリー金属化方法及び金属膜付き誘電体基材

是津信行, 山村和也
特許第5645163号フッ素系樹脂材料の表面改質方法及びフッ素系樹脂材料と金属材料の積層体

是津信行, 山村和也
特開2014-187131 陽極酸化を援用した形状創成エッチング法、研磨方法及び高精度形状創成方法

山村和也
特開2014-177673 パルス幅変調電力制御を用いた局所プラズマ処理方法及びその装置

山村和也, 佐野泰久
特許第5614677号難加工材料の精密加工方法及びその装置

山村和也, 是津信行
特願2014-181663 表面改質成型体の製造方法、及び該表面改質成型体を用いた複合体の製造方法

山村和也, 大久保雄司, 石原健人, 柴原正文, 長谷朝博, 本田幸司
特願2014-038876 誘電体基材表面の金属化方法及び金属膜付き誘電体基材

山村和也, 大久保雄司, 佐藤悠, 疋田真也
特許第5360963号誘電体機材表面の触媒フリー金属化方法及び金属膜付き誘電体基材

是津信行, 山村和也
特許第5322245号粒子膜の製造装置、及び粒子膜の製造方法

是津信行, 山村和也, 真鍋享平
特許第5039939号表面加工方法及び装置

山村和也
特許第4962960号半導体ウエハ外周部の加工方法及びその装置

佐野泰久, 山村和也, 原英之, 加藤武寛
特許第4665503号誘電体基板のパターン転写加工方法

森勇藏, 山村和也, 佐野泰久

もっとみる

学術貢献活動

公益社団法人砥粒加工学会関西地区部会会計監査

企画立案・運営等

2019年4月 - 現在
公益社団法人精密工学会フェロー

その他

2017年3月 - 現在
一般社団法人電気加工学会西日本支部（幹事）

企画立案・運営等

2016年6月 - 現在
一般社団法人電気加工学会（理事）

企画立案・運営等

2016年6月 - 現在
（社）精密工学会関西支部（商議員）

企画立案・運営等

2006年5月 - 現在
The 18th International Conference on Precision Engineering (ICPE2020) Program Chair

企画立案・運営等, パネル司会・セッションチェア等

2019年10月 - 2020年11月
公益社団法人砥粒加工学会理事

企画立案・運営等

2017年4月 - 2019年3月
（社）精密工学会関西支部（庶務幹事）

企画立案・運営等

2010年4月 - 2018年3月
セミコンジャパン Inovation Village

その他

SEMI 2016年12月
18th CIRP Conference on Electro Physical and Chemical Machining (ISEM XVIII)

企画立案・運営等

CIRP, JSEME 2016年4月
SURTECH2016「表面技術要素展」

その他

一般社団法人表面技術協会、日本鍍金材料協同組合、株式会社ICSコンベンションデザイン 2016年1月
The 6th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology (ASPEN2015)

企画立案・運営等

Harbin Institute of Technology 2015年8月
SURTECH2015「表面技術要素展」

その他

一般社団法人表面技術協会、日本鍍金材料協同組合、株式会社ICSコンベンションデザイン 2015年1月
The 4th Asia Pacific Conference on Optics Manufacture 2014 (APCOM 2014)

企画立案・運営等

Guangdong University of Technology & The Hong Kong Polytechnic University 2014年11月
イノベーションジャパン

その他

科学技術振興機構、新エネルギー・産業技術総合開発機構 2014年9月
2014 International Conference on Machining, Materials and Mechanical Technologies(2014 IC3MT)

企画立案・運営等

National Central University (NCU), Taiwan, Japan Society for Precision Engineering (JSPE), Japan 2014年8月
The 15th International Conference on Precision Engineering (ICPE2014)

企画立案・運営等

The Japan Society for Precision Engineering (JSPE) 2014年7月
14th International Conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology

企画立案・運営等

The European Society for Precision Engineering and Nanotechnology 2014年6月
真空展

その他

日本真空工業会、一般社団法人日本真空学会 2013年11月
13th International Conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology

企画立案・運営等

The European Society for Precision Engineering and Nanotechnology 2013年5月

もっとみる

メディア報道

PTFEの異材接着技術を開発人体や環境への負担減大阪大学

接着剤新聞 2019年1月
金属・フッ素樹脂接着剤なく貼る

日本経済新聞 2019年1月
「NEXTデバイス京セラ世界最小の水晶部品加工、プラズマ技術を応用」

日経産業新聞 2017年10月
フッ素樹脂、熱アシストプラズマ処理で高い接着性－阪大が解明

日刊工業新聞 2017年8月
「井上春成賞に2件」

日本経済新聞 2017年6月
フッ素樹脂の密着性、１年超持続−阪大、加熱プラズマ処理で成功

日刊工業新聞 2017年2月
フッ素樹脂と金属膜の強力接合阪大‐積水化学‐日油と共同 3年内めど実用化

化学工業日報 2016年10月
フッ素樹脂と金属膜プラズマ処理で接合阪大積水化学、日油と共同

化学工業日報 2016年1月
フッ素樹脂と金属膜強力接合技術を開発阪大など基板実用化目指す

日刊産業新聞 2016年1月
PTFE-銅・銀など簡易に高強度接合阪大

化学工業日報 2015年2月
接着剤使わず接合阪大フッ素樹脂とゴム

日経産業新聞 2014年9月
ウエハー平坦化大気圧プラズマ利用阪大、多様な基材に対応

化学工業日報 2014年8月
大阪大学フッ素と金属を密着高周波基板材に応用展開

半導体産業新聞 2014年3月
炭化ケイ素傷つけずに平滑に研磨プラズマ照射砥粒で同時処理

日刊工業新聞 2011年11月
世界最高性能の中性子集光技術－照射強度を50倍増強楕円面スーパーミラー開発－

科学新聞 2011年8月
表面を非接触超精密加工（微小な凹凸エッチング、阪大がシステム）

日刊工業新聞 2008年2月

山村和也

基本情報

研究キーワード

研究分野

経歴

学歴

委員歴

受賞

論文

MISC

書籍等出版物

担当経験のある科目(授業)

所属学協会

Works(作品等)

共同研究・競争的資金等の研究課題

産業財産権

学術貢献活動

メディア報道

メニュー

共著者の一覧