宮本岩男 (Iwao Miyamoto) - マイポータル

基本情報

学位: イオンスパッタ加工法の研究(東京大学)

J-GLOBAL ID: 200901067328824898
researchmap会員ID: 6000004949

研究分野

ものづくり技術（機械・電気電子・化学工学） / 加工学、生産工学 /

学歴

- 1967年

東京理科大学, 理学部, 応用物理学科
- 1967年

東京理科大学

委員歴

MISC

190

0.5 keV Xe+ ion beam nano smoothing of ULE (R) substrate after processing with 3.0-10.0 keV Xe+ ion beam

K. Morijiri, H. Endo, K. Morikaawa, S. A. Pahlovy, I. Miyamoto

MICROELECTRONIC ENGINEERING 88(8) 2694-2696 2011年8月
Ar+ ion beam machining of the carbon thin layer deposited on the Zerodur (R) substrate for EUVL projection optics

K. Fujiwara, S. A. Pahlovy, I. Miyamoto

MICROELECTRONIC ENGINEERING 88(8) 2527-2529 2011年8月
0.5 keV Xe+ ion beam nano smoothing of ULE (R) substrate after processing with 3.0-10.0 keV Xe+ ion beam

K. Morijiri, H. Endo, K. Morikaawa, S. A. Pahlovy, I. Miyamoto

MICROELECTRONIC ENGINEERING 88(8) 2694-2696 2011年8月
Ar+ ion beam machining of the carbon thin layer deposited on the Zerodur (R) substrate for EUVL projection optics

K. Fujiwara, S. A. Pahlovy, I. Miyamoto

MICROELECTRONIC ENGINEERING 88(8) 2527-2529 2011年8月
Sharpening of CVD diamond coated tools by 0.5−10 keV Ar+ ion beam

Yoshiko Sato, Junki Kawamura, Takashi Nagase, S.A. Pahlovy, Iwao Miyamoto

DIAMOND AND RELATED MATERIALS 20(7) 954-959 2011年7月
Facet and ripple formations on single crystal diamond tools machined by low energy oxygen ion beam

S. F. Mahmud, S. A. Pahlovy, Yoshiko Sato, Iwao Miyamoto

DIAMOND AND RELATED MATERIALS 20(7) 1056-1060 2011年7月
Sharpening of CVD diamond coated tools by 0.5-10 keV Ar+ ion beam

Yoshiko Sato, Junki Kawamura, Takashi Nagase, S. A. Pahlovy, Iwao Miyamoto

DIAMOND AND RELATED MATERIALS 20(7) 954-959 2011年7月
Facet and ripple formations on single crystal diamond tools machined by low energy oxygen ion beam

S. F. Mahmud, S. A. Pahlovy, Yoshiko Sato, Iwao Miyamoto

DIAMOND AND RELATED MATERIALS 20(7) 1056-1060 2011年7月
Low Energy Xe+ Ion Beam Machining of the Ultralow Expansion Glass Substrates for Aspherical Extreme Ultraviolet Lithography Projection Optics

Hironori Endo, Junya Yamada, Shahjada A. Pahlovy, Iwao Miyamoto

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 50(6) 06GB06-1-06GB06-6 2011年6月
Changes of ripple morphology of cleaved Si surface by low-energy Ar + ion beam sputtering

S. A. Pahlovy, S. F. Mahmud, K. Yanagimoto, I. Miyamoto

International Journal of Nanoscience 10(3) 495-499 2011年6月
Low Energy Xe+ Ion Beam Machining of the Ultralow Expansion Glass Substrates for Aspherical Extreme Ultraviolet Lithography Projection Optics

Hironori Endo, Junya Yamada, Shahjada A. Pahlovy, Iwao Miyamoto

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 50(6) 06GB06-1-06GB06-6 2011年6月
Changes of ripple morphology of cleaved Si surface by low-energy Ar + ion beam sputtering

S. A. Pahlovy, S. F. Mahmud, K. Yanagimoto, I. Miyamoto

International Journal of Nanoscience 10(3) 495-499 2011年6月
Ripple formation on atomically flat cleaved Si surface with roughness of 0.038 nm rms by low-energy Ar1+ ion bombardment

Shahjada A. Pahlovy, S. F. Mahmud, K. Yanagimoto, I. Miyamoto

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A 29(2) 021015 2011年3月
Ripple formation on atomically flat cleaved Si surface with roughness of 0.038 nm rms by low-energy Ar1+ ion bombardment

Shahjada A. Pahlovy, S. F. Mahmud, K. Yanagimoto, I. Miyamoto

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A 29(2) 021015 2011年3月
Surface morphology analysis of natural single crystal diamond chips bombarded with Ar+ ion beam

Takashi Nagase, Hiroyuki Kato, Shahjada A. Pahlovy, Iwao Miyamoto

VACUUM 84(12) 1423-1426 2010年6月
Surface morphology analysis of natural single crystal diamond chips bombarded with Ar+ ion beam

Takashi Nagase, Hiroyuki Kato, Shahjada A. Pahlovy, Iwao Miyamoto

VACUUM 84(12) 1423-1426 2010年6月
Low energy Xe+ ion beam machining of ULE (R) substrates for EUVL projection optics - Evaluation of high-spatial frequency roughness

Hironori Endo, Takuro Inaba, Shahjada A. Pahlovy, Iwao Miyamoto

MICROELECTRONIC ENGINEERING 87(5-8) 982-984 2010年5月
Ion beam fabrication of natural single crystal diamond nano-tips for potential use in atomic force microscopy

Takashi Nagase, Junki Kawamura, Shahjada Ahemed Pahlovy, Iwao Miyamoto

MICROELECTRONIC ENGINEERING 87(5-8) 1494-1496 2010年5月
Low energy Xe+ ion beam machining of ULE (R) substrates for EUVL projection optics - Evaluation of high-spatial frequency roughness

Hironori Endo, Takuro Inaba, Shahjada A. Pahlovy, Iwao Miyamoto

MICROELECTRONIC ENGINEERING 87(5-8) 982-984 2010年5月
Ion beam fabrication of natural single crystal diamond nano-tips for potential use in atomic force microscopy

Takashi Nagase, Junki Kawamura, Shahjada Ahemed Pahlovy, Iwao Miyamoto

MICROELECTRONIC ENGINEERING 87(5-8) 1494-1496 2010年5月

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書籍等出版物

日本機械学会編機械工学便覧デザイン編ベ－タ3 加工学・加工機器

丸善 2006年
図解砥粒加工技術のすべて

株式会社工業調査会 2006年
ナノインプリントの開発と応用

シーエムシー出版 2005年
三次元ナノインプリントにおける金型作製技術の現状と将来展望

月刊マテリアルステージ 2005年
総論：ナノインプリント技術の足跡

OplusE 2月号、Vol.27, No.2 2005年
SOG(Spin On Glass)膜を用いた3次元モールドの作製技術

OplusE 2月号、Vol.27, No.2 2005年
マイクロマシン技術総覧

産業技術サービスセンター 2003年
イオンビームと電子ビームを用いたダイヤモンドの微細加工

機械の研究第55巻第8号 2003年
加工技術データファイル基礎編特殊加工 4章イオン加工

（財）機械振興協会技術研究所 2003年
図解ナノテク活用技術のすべて

工業調査会 2002年
ナノインプリント技術の現状

砥粒加工学会誌 Vol.46, №6, 2002, JUN 2002年
最新の超精密加工・成形技術と部品化プロセス技術第3章4節ドライエッチング

(株)技術情報協会 2001年
イオンビーム技術の開発（第４章表面除去加工技術とその応用）

㈱シーエムシー 2001年
精密工学会編精密加工実用便覧 6章4節イオンビーム加工

日刊工業新聞社 2000年

講演・口頭発表等

Low Low energy Ar+ ion beam machining of ULE® and CLEARCERAM® substrates for TMT primary mirrors

The 54th international conference on electron, ion, and photon beam technology and nanofabrication.(EIPBN-2010) 2010年
Facet and ripple formations on single crystal diamond tools machined by low energy Oxygen ion beam

The 21st European Conference on Diamond, Diamond- Like Materials, Carbon Nanotubes, and Nitrides (Diamond-2010) 2010年
Roughening and smoothing behavior of single crystal Si by low energy Ar+ ion bombardment

The 17th International Conference on Ion Beam Modification of Materials (IBMM-2010) 2010年
3-10 keV Xe+ ion beam machining of ultra low thermal expansion glasses for EUVL projection optics: Evaluation of surface roughness

IBMM (Ion Beam Modification of Materials) 2010 2010年
Low Low energy Ar+ ion beam machining of ULE® and CLEARCERAM® substrates for TMT primary mirrors

The 54th international conference on electron, ion, and photon beam technology and nanofabrication.(EIPBN-2010) 2010年
Facet and ripple formations on single crystal diamond tools machined by low energy Oxygen ion beam

The 21st European Conference on Diamond, Diamond- Like Materials, Carbon Nanotubes, and Nitrides (Diamond-2010) 2010年
Roughening and smoothing behavior of single crystal Si by low energy Ar+ ion bombardment

The 17th International Conference on Ion Beam Modification of Materials (IBMM-2010) 2010年
3-10 keV Xe+ ion beam machining of ultra low thermal expansion glasses for EUVL projection optics: Evaluation of surface roughness

IBMM (Ion Beam Modification of Materials) 2010 2010年
Low energy Xe+ ion beam machining of ULE® substrates for EUVL projection optics –Evaluation of High-spatial frequency roughness-

MNE (Micro and Nano Engineering)-2009 2009年
Fabrication of natural single crystal diamond nano-tip for an AFM

MNE (Micro and Nano Engineering)-2009 2009年
Surface morphology analysis of natural single crystal diamond chips bombarded with Ar+ ion beam

ISSP 2009 2009年
Low energy ion beam smoothing of a Si deposited ULE® substrate after the figuring of it by 5 and 10 keV Ar+ ion beam = Evaluation of high spatial frequency roughness =

ISSP 2009 2009年
Study on ripple or nano pattern formation on Si by low energy Ar+ ion beam and smoothing of rippled or nano patterned surface

EIPBN(2009) 2009年
Two stage ion beam figuring and smoothing method for shape error correction of ULE® substrates of EUVL multilayer mirrors - Evaluation of surface roughness -

EIPBN 2009 2009年
Low energy Ar+ ion beam machining of Si thin layer deposited on Zerodur® substrate for EUVL optics.

EIPBN 2009 2009年
Ion beam sharpening of diamond tools having small apex angle without facet and ripple formation

EIPBN 2009 2009年
Ripple formation on atomically flat cleaved Si surface by low Energy Ar1+ Ion bombardment

ISSP 2009 2009年
Low energy Xe+ ion beam machining of ULE® substrates for EUVL projection optics –Evaluation of High-spatial frequency roughness-

MNE (Micro and Nano Engineering)-2009 2009年
Fabrication of natural single crystal diamond nano-tip for an AFM

MNE (Micro and Nano Engineering)-2009 2009年
Surface morphology analysis of natural single crystal diamond chips bombarded with Ar+ ion beam

ISSP 2009 2009年

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所属学協会

共同研究・競争的資金等の研究課題

1）ダイヤモンドのイオンビ－ム加工 2）イオンビ－ムを用いたEUVLミラ－基板の形状修正

委託研究 1980年 - 2007年
1) Ion beam machining of diamond 2) Ion beam figureing of substrate for EUVL mirror

Contract Research 1980年 - 2007年