特許権 干渉計および形状測定装置 独立行政法人理化学研究所, 株式会社ジェネシア 洲之内 啓, 小川 雄一, 武山 芸英, 池田 優二 出願番号 特願2003-182958 出願日 2003年6月26日 公開番号 特開2005-017127 公開日 2005年1月20日 リンク情報 J-GLOBALhttps://jglobal.jst.go.jp/detail?JGLOBAL_ID=200903085965444425URLhttp://jglobal.jst.go.jp/public/200903085965444425 ID情報 J-Global ID : 200903085965444425