特許権 被処理物処理装置及び被処理物処理方法 大島士月, 中村寿樹, 田原耕平 出願番号 特願2018-153142 出願日 特許番号/登録番号 特許7170988 登録日 2022年10月18日 発行日 2022年11月22日