2010年6月
A three-dimensional microstructuring technique exploiting the positive photoresist property
Journal of Micromechanics and Microengineering
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- 巻
- 20
- 号
- 6
- 開始ページ
- 065005
- 終了ページ
- 記述言語
- 英語
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- DOI
- 10.1088/0960-1317/20/6/065005
- 出版者・発行元
- IOP PUBLISHING LTD
- リンク情報
- ID情報
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- DOI : 10.1088/0960-1317/20/6/065005
- ISSN : 0960-1317
- ORCIDのPut Code : 57462654
- SCOPUS ID : 77952389102