産業財産権

特許権

表面欠陥検査装置及び表面欠陥検査方法

  • 伊藤 昭芳
  • ,
  • 松井 洋一
  • ,
  • 安味 憲一
  • ,
  • 明石 卓也
  • ,
  • 張 精
  • ,
  • 菊田 真基
  • ,
  • 張 潮

出願番号
特願2019-10687
出願日
2019年1月24日
公開番号
特開2020-118572
公開日
2020年8月6日