特許権 表面欠陥検査装置及び表面欠陥検査方法 伊藤 昭芳, 松井 洋一, 安味 憲一, 明石 卓也, 張 精, 菊田 真基, 張 潮 出願番号 特願2019-10687 出願日 2019年1月24日 公開番号 特開2020-118572 公開日 2020年8月6日