論文

査読有り
2014年

Hyperdoping of silicon with deep-level impurities by pulsed YAG laser melting

Appl. Phys. A
  • I. Umezu
    • ,
  • M. Naito
    • ,
  • K. Kawabe
    • ,
  • Y. Koshiba
    • ,
  • K. Nagao
    • ,
  • A. Sugimura
    • ,
  • T. Aoki
    • ,
  • M. Inada
    • ,
  • T. Saitoh
    • ,
  • A. Kohno
記述言語
英語
掲載種別
研究論文（学術雑誌）
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