2022年3月
High-aspect nano-groove fabrication in thick film resists using 150-kV high acceleration voltage electron beam lithography
Precision Engineering
- 巻
- 74
- 号
- 開始ページ
- 205
- 終了ページ
- 208
金子 新
カネコ アラタ (Arata Kaneko)
更新日: 04/18