2018年
無酸素Pd/Tiを用いた非蒸発型ゲッターポンプの開発
表面科学学術講演会要旨集
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- 巻
- 2018
- 号
- 0
- 記述言語
- 日本語
- 掲載種別
- 出版者・発行元
- 公益社団法人 日本表面真空学会
我々はICF203フランジ、パイプ、底板、9枚の仕切板、支板から構成される真空容器の内面に無酸素Pd/Tiを成膜した非蒸発型ゲッター(NEG)ポンプを開発した。本NEGポンプは150℃で12時間ベークすることにより活性化でき、水素に対する初期排気速度は約670L/s、一酸化炭素に対する初期排気速度は約880L/sであった。また、大気導入と活性化を9回繰り返しても排気速度が低下しないことを確認した。
- リンク情報
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- CiNii Articles
- http://ci.nii.ac.jp/naid/130007519355
- ID情報
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- CiNii Articles ID : 130007519355
- identifiers.cinii_nr_id : 9000398983442