2014年4月 - 2016年3月 圧電PZT薄膜の超多層積層成膜およびMEMSデバイスへの応用 日本学術振興会 科学研究費助成事業基盤研究C 神田 健介 担当区分 研究代表者 資金種別 競争的資金 この研究課題の成果一覧 絞り込み 研究者 すべての研究者 神田 健介 年度 すべての年度 2022年度 業績種別 すべての業績種別 書籍等出版物 書籍等出版物 1 バイオ計測のための材料と微細加工 松永 忠雄, 鶴岡 典子, 小野寺 武, 山口 明啓, 池沢 聡, 土肥 徹次, 神田 健介, 岩見 健太郎, 峯田 貴, 林 育菁, 津守 不二夫, 笠原 崇史, 水野 潤, 和泉 慎太郎, 田畑 美幸, 野田 和俊, 荒川 貴博 (担当:分担執筆, 範囲:2.1.2，2.2.2，2.3.2節) コロナ社 2022年10月13日 (ISBN: 9784339072785)
