特許権 流体センサチャンバー及びその結合体 南 皓輔, 吉川 元起 出願番号 特願2017-193345 出願日 2017年10月3日 公開番号 特開2019-066370 公開日 2019年4月25日 特許番号/登録番号 特許第6994234号 (B2) 登録日 2021年12月15日 発行日 2022年1月14日 出願国 国内 取得国 国内
