1998年3月5日
イオンビーム支援蒸着法による窒化炭素膜形成におけるArイオン添加の効果
精密工学会大会学術講演会講演論文集
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- 巻
- 1998
- 号
- 1
- 開始ページ
- 435
- 終了ページ
- 435
- 記述言語
- 日本語
- 掲載種別
- リンク情報
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- CiNii Articles
- http://ci.nii.ac.jp/naid/10002873338
- CiNii Books
- http://ci.nii.ac.jp/ncid/AN1018673X
- ID情報
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- CiNii Articles ID : 10002873338
- CiNii Books ID : AN1018673X