有機材料の構造解析手法の一つとして、Arガスクラスターイオンビーム（GCIB）を一次イオン源とする飛行時間型二次イオン質量分析装置（TOF-SIMS）等が普及している。Ar-GCIBはクラスターサイズ分布が広いため、特定のクラスターサイズを選別可能なマスフィルターが求められている。そこで本研究では、二段の回転電場により、特定の質量電荷比のイオンのみを光軸上へ回帰可能なマスフィルターの開発を行った。