特許権 窒化アルミニウム溶射膜およびその製造方法 福本昌宏, 山田基宏, 高橋小弥太 出願番号 特願2002-242280 出願日 2002年8月22日 公開番号 特開2004-83929 公開日 2004年3月18日 特願2002-242280