MISC

2019年6月

Development of Electrostatic‐type Aberration Corrector with Annular and Circular Electrodes for SEMs

AMTC Letters
  • KAWASAKI Tadahiro
    • ,
  • YOSHIDA Ryuji
    • ,
  • KATO Takeharu
    • ,
  • NOMAGUCHI Tsunenori
    • ,
  • MOTOMURA Shunichi
    • ,
  • NISHINAKA Kenichi
    • ,
  • AGEMURA Toshihide
    • ,
  • IKUTA Takashi
巻
6
号
開始ページ
64‐65
終了ページ
記述言語
英語
掲載種別
リンク情報
J-GLOBAL
https://jglobal.jst.go.jp/detail?JGLOBAL_ID=201902233677762644
ID情報
  • ISSN : 1882-9465
  • J-Global ID : 201902233677762644
エクスポート
BibTeX RIS
MISCリストへ