機械部品の気密検査は、水素やヘリウムを使ったが拡散ガス検知式や圧力差を用いた差圧式などがあるが、素材やコストの問題から省力化が遅れている．また、部品により容認される漏れ量の合否基準が異なっている．こそこで、超音波技術を用いた浸漬式気密漏洩検査法で．漏れ量を正確に計測評価する技術の開発を行う．本研究開発では，水中気泡の揺らぎを超音波で検出することにより気泡の大きさと数を検出し，漏れ量に換算する技術の確立を行い、0.1ml/minの微少漏れを±15％以内の精度で検出できる漬式気密漏洩検査システムシステムの開発を目指す．