講演・口頭発表等

国際会議
2019年12月13日

Fluorocarbon Film Prepared by RF Unbalanced Magnetron Spputtering with PTFE Target

APSPT-11
  • T.Toya
    • ,
  • T.Harigai
    • ,
  • K.tamekuni
    • ,
  • H.Takikawa
    • ,
  • M.Kamiya
記述言語
英語
会議種別
ポスター発表
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