2004年12月1日
Synthesis of Microcrystalline Silicon Films by Low-Energy Electron- Beam- Induced Deposition at Cryogenic Temperature
Material Research Society Symposium Proc. 832, F10.19. (Boston)
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- 巻
- 832
- 号
- 開始ページ
- F10.1
- 終了ページ
- 記述言語
- 英語
- 掲載種別
- 研究論文（国際会議プロシーディングス）