招待有り 本文へのリンクあり 2021年3月26日 二次電池用セラミックス材料の薄膜・厚膜化技術へのAD法の適用検討 日本表面真空学会 スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会 第166回定例研究会 稲田亮史 開催年月日 2021年3月26日 記述言語 日本語 会議種別 公開講演,セミナー,チュートリアル,講習,講義等 主催者 公益社団法人 日本表面真空学会 開催地 オンライン 国・地域 日本 リンク情報 URLhttps://www.jvss.jp/jpn/activities/40/detail.php?eid=00005URLhttp://id.nii.ac.jp/1117/00002142/ 本文へのリンクあり