特許権 振動研磨方法およびその装置 独立行政法人科学技術振興機構 鈴木 浩文, 宮原 充, 澁谷 秀雄 出願番号 特願2003-331511 出願日 2003年9月24日 公開番号 特開2005-096016 公開日 2005年4月14日 特許番号/登録番号 特許第4702765号 登録日 2011年3月18日 発行日 リンク情報 J-GLOBALhttps://jglobal.jst.go.jp/detail?JGLOBAL_ID=201303043168926285 ID情報 J-Global ID : 201303043168926285