特許権 膜厚測定方法及び測定装置 関東自動車工業，東北大学 燈明泰成, 鈴木学 出願番号 特願2009-88818 出願日 2009年4月1日 公開番号 特開2010-243176 公開日 2010年10月28日 特許番号/登録番号 特許5257991 登録日 発行日 2013年5月2日
