2006年 - 2007年 液体原料直接噴霧型有機金属化学気相堆積法の開発及び薄膜作製への応用 科学研究費補助金 資金種別 競争的資金 気化器フリーの液体供給MOCVD法の開発ならびにその薄膜作製への応用を図る。