2004年
PZT圧電体膜を用いた異常音検知マイクロセンサの作製とその評価
電気学会論文誌E
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- 巻
- 124
- 号
- 4
- 開始ページ
- 143
- 終了ページ
- 147
- DOI
- 10.1541/ieejsmas.124.143
- リンク情報
- ID情報
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- DOI : 10.1541/ieejsmas.124.143
- ISSN : 1341-8939
- ISSN : 1347-5525
- CiNii Articles ID : 10012704045